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ASML暗示可遠程癱瘓旗下光刻機

都在掌控中 包含最先進EUV
2024-05-22
來源:快科技
關鍵詞: ASML 光刻機

5月22日消息,據外媒報道稱,ASML聲稱可以遠程癱瘓旗下售出的光刻機,這引來網友的圍觀。

現在,報道中有給出了更多有趣的細節,比如ASML表示可以遠程癱瘓(remotely disable)相應機器,包括最先進的極紫外光刻機(EUV)。

消息人士稱,EUV需要頻繁維護,如果沒有ASML提供的備件,這些機器很快就會停止工作。

此外,EUV的現場維護要求很高,它們被安置在無塵室內,需要工程師穿著特殊的套裝以避免污染。

報道中還提到,ASML為某些客戶提供聯合服務合同,讓其進行一些日常維護(對機器內部),但無法訪問客戶機器內的專有數據。

在這之前,ASML公司CEO就曾明確表示,目前公司沒有理由不為已經出售給中國客戶的設備提供服務,他們在中國安裝的設備沒有服務限制。

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