近年來，隨著個人電腦的普及和互聯網的快速發展，數字移動通信業務轉向個人通信，引發了傳統通信的革命和多媒體通信業務的出現，刺激了光通信業務的快速發展。但是與大規模的集成電路相比，光互連中用于實現光路由和光交換的光器件由于體積小、空間有限、功能單一，在應用上受到很大限制，因此在很多光通信模塊中仍然需要進行大量的電光轉換。

著深紫外光刻技術在納米光子器件制作中的應用使得光學器件的尺寸大大減小，同一光子集成電路中可以集成更多的光學器件。將晶體管封裝在芯片上的傳統工藝被稱為“深紫外光刻”（DUV），這是一種類似于攝影的一種技術。通過透鏡聚焦光線，在硅片上雕刻電路圖案，利用極紫外（EUV）光在硅片上雕刻，使存儲芯片有類似的存儲容量增加。

在集成電路制造的推動下，光刻技術取得了長足的進步。從抽象層面來說，光刻系統包括以下幾個部分：輻射源、輻射控制系統、光刻膠和樣品。為了獲得更小的光刻圖形，要求用于光刻的光源具有更小的特征光波波長，光源要有足夠的強度，以實現快速曝光和批量生產。

為了解決光刻強度的問題，目前工業上廣泛使用準分子激光。準分子激光是深紫外光譜中最亮的光源。一般準分子激光獲得的光波波長有248nm、193nm、157nm。準分子激光以多模形式強烈發射，空間相干性相對較弱，光刻精度可達100nm以下。

想要確保紫外光刻機發出的紫外線強度適中就需要對紫外光進行監測，紫外線傳感器和紫外光電二極管是可以檢測紫外線強度的元件，可以用于檢測紫外光刻過程中紫外線的能量情況，工采網技術工程師推薦以下幾款：

韓國GENICOM 紫外線傳感器 － GUVA－T11GD－L，具有良好的可見盲，光伏模式操作，高響應，低暗電流，應用于全UV波段監控，UV－A燈監控，可廣泛應用于：紫外線強度檢測和控制，UV指數檢測。

德國SGLUX 紫外光電二極管 － SG01D－C18具有極其特別的優點，能承受高強度的輻射，對可見光幾乎不敏感，產生的暗電流低，響應速度快，可以長期工作在高達170℃的溫度中。

韓國GENICOM 可見光傳感器 － GVGR－T10GD，芯片小于0．4mm，TO－46封裝，使用的銦鎵氮材料，內含PN型光電二極管，光伏模式操作，高響應，低暗電流。

       原文標題 : 紫外線傳感器_深紫外光刻機適用哪個范圍內的紫外線波段

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