近日，外媒稱荷蘭、日本與美國達成對中國限制出口光刻機的協議。具體制裁細節如何尚未可知，但卡脖子的手無疑是越收越緊，這一回聚光燈照向了光刻機設備。

相比光刻機這一“半導體工業皇冠上的明珠”，半導體設備產業鏈上的精密零部件討論度并不高。實際上，零部件的性能和質量直接決定著半導體設備的可靠性、穩定性，是半導體產業高質量發展的基石。

在全球半導體設備零部件市場長期被美國、日本等國際巨頭壟斷的背景下，國產半導體設備零部件力量的成長壯大，成為絕地反擊的關鍵之一。

2022年10月10日，半導體設備零部件廠商富創精密成功登陸科創板，這一業內有名的國家專精特新“小巨人”，又邁向了新的發展階段。

重壓之下，國產半導體設備零部件廠商是如何成長的？中美科技戰的硝煙下，零部件的國產化之路怎樣鋪設？本文將透過富創精密的奮斗歷程，分以下三部分進行闡述：

1．篳路藍縷，以啟山林

2．產業鏈的“三體”局

3．零部件的“狂飆”路

篳路藍縷，以啟山林

富創精密的誕生與成長，離不開創始人鄭廣文。

1966年出生，畢業于吉林工業大學技術經濟專業（現已并入吉林大學）的鄭廣文，是那個年代少有的大學生。

畢業后，鄭廣文被分配到遼寧省汽車貿易集團，一干就是七年。旁人看來他是捧上了國企的鐵飯碗，于鄭廣文而言，這段經歷則為他積累了企業管理經驗和汽車貿易行業人脈，是創業的地基。

到了“改革春風吹滿地”的90年代，鄭廣文丟掉了鐵飯碗，創辦了一家名為“遼寧汽車物資銷售中心”的企業，抓住了這片競爭相對小的藍海市場，沒過幾年便發展到三家汽車4S店，在沈陽汽車市場嶄露頭角。

2003年，中科院沈陽自動化研究所旗下的沈陽先進開放了投資入口，鄭廣文看準時機，重金入股了沈陽先進，邁出了走向制造業的第一步。

2008年，鄭廣文通過沈陽先進投資創辦了沈陽富創精密設備有限公司。由此，富創精密的前身誕生，鄭廣文開始了自己的第二次創業，一頭扎進了高端精密制造領域。

在多家汽車4S店日進斗金、第一次創業就賺得盆滿缽滿之時，鄭廣文為什么會做出這樣的選擇呢？

在回憶兩次創業經歷時，鄭廣文說，“當時中國半導體產業不像今天這么欣欣向榮，投身半導體純粹是工科生的情懷，骨子里覺得做制造業才踏實”。

這份踏實感，讓鄭廣文帶領團隊在半導體設備精密零部件領域沉淀了十余年，將富創精密鍛造成了如今國內半導體設備零部件的中流砥柱之一。

從汽車經銷到半導體制造，這中間的技術跨度與市場鴻溝，富創精密是怎樣飛越的呢？這可以歸結為三點：天時、地利、人和。

天時：富創精密是在國家02專項支持下成長起來的。

“02專項”全稱是“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項，啟動于“十二五規劃”期間，在同期啟動的16個重大專項中位列第二位，其重點是對22－45nm芯片制造設備進行研發突破。

可以說，“02專項”代表著我國芯片自主研發的頂尖實力，是對抗卡住我國成熟制程芯片制造脖子的手的重要力量。

富創精密于2011年和2014年分別牽頭承接了兩期02專項項目，共計立項6．5億。

2011年，在“IC設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺”項目中，富創精密解決了包括光刻機中的光刻主機板、微動框架等制造技術。同年，公司向應用材料交付了首款精密零部件產品，成為其合格供應商。

2014年，富創精密承接了“基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技術開發”項目。依托項目成果，公司的精密零部件焊接及表面處理特種工藝技術實現了與國際接軌，并快速推進了針對22nm以下的大型鋁合金零部件超強耐腐蝕、特種焊接技術的產業化應用。

在第二次承接“02 重大專項”期間，富創精密成為了應用材料的戰略供應商，東京電子、VAT等國際知名企業的供應商，并為北方華創、中科信裝備、拓荊科技等國內知名半導體設備企業提供精密零部件的研發及量產配套服務。

富創精密用近十年的時間完成了兩期02重大專項，彌補了國產零部件制造的短板。同時，02專項技術成果的轉化也支撐著公司業務的快速擴大。02專項的基礎研發技術不斷應用在更多產品上，其產品服務也迅速為海內外市場所認可。

地利：高端制造業是沈陽的優勢產業。

沈陽是我國重要的以裝備制造業為主的重工業基地，IC裝備產業綜合實力位列全國三甲。同時，沈陽還是東北地區本科高等院校數量最多的城市。

富創精密創立之初，有著沈陽集成電路產業園國家級孵化器的推動，沈陽豐厚的產業基礎與人才儲備，也為公司深耕零部件這一新興產業提供了有力的支撐。

人和：富創精密搭上了業內巨頭的順風車。

這就要說到富創精密與應用材料的不解之緣了。一個初出茅廬的國產零部件廠商，是如何得到國際設備巨頭應用材料的支持培養的呢？

產業鏈的“三體”局

1967年，應用材料（AMAT）成立，專注于半導體設備制造，一路高歌猛進。1972年在納斯達克上市，1992年成為世界上第一大的半導體設備企業，并將這一頭銜保持至今。

要問設備巨頭是怎樣煉成的，應用材料的發展史會給出兩個答案：

一是緊跟市場，轉移產業。

20世紀70年代后，半導體產業的產能中心開始變化，由美國先后向亞太地區的日本、韓國及中國臺灣轉移。應用材料在部署全球化戰略時，也先后在日韓和中國臺灣設立子公司或辦事處。

二是最大化集成產業鏈力量。

半導體行業的高技術門檻和研發投入，驅動著產業整合成為巨頭們降低研發風險和產品成本的首選。

作為設備龍頭，應用材料要向下游大量的晶圓廠交付產品。這么多的訂單，再大的公司也沒法獨立完成。

因此，應用材料的設備產業鏈上，匯聚著成千上百家零部件廠商。應用材料向通過其驗證的零部件廠商采購各種零部件，再進行裝配整合，將完整的設備成品提供給晶圓廠。

占據了大部分市場份額后，為了保持業績高增長，應用材料從1997年開始進行大量的并購活動與合作整合，向外尋找新的支持力量。

時間來到2008年，那一年的金融危機引發了全球半導體產業的大衰退，國際主流廠商大多陷入虧損，或裁員或減薪。

彼時，中國的電子產品制造商所消費的半導體首次超過了全球產量的三分之一，半導體產能正在向中國轉移，大量的初創企業誕生，富創精密就是其中之一。

應用材料便在這時開始尋找可發展的中國設備零部件供應商，以期降低自身的采購成本，提高利潤率。

富創精密就是抓住了這個窗口期，爭取到了與巨人同行的機會。

鄭廣文曾談到公司成立之初的“數一數二戰略”：剛開始做小零件的公司，說要成為世界數一數二的企業是笑談，所以富創精密只給世界上數一數二的企業做配套，與之一起成長。

2011年，通過曾在應用材料工作的海外專家引薦，富創精密接觸到了應用材料并接受了考察，隨后被列入了應用材料的重點培育供應商名單。

在應用材料的指導下，富創精密從技術門檻較低的結構零部件做起，陸續完成更高級別的體系認證、工藝認證、產品認證，隨后承接了工藝零部件的批量業務，又在近幾年將品類拓展到模組產品、氣體管路產品等。

有了貴人加持，富創精密的業務品類和質量體系不斷累積完善，也有機會接觸到應用材料更先進的制程，如7納米、5納米等，這對于其技術研發起到了前瞻性的引領作用。

如今富創精密能夠量產應用于7納米制程設備的精密零部件，離不開應用材料的培養。

富創精密與應用材料的例子，只是半導體制造“三體”格局的冰山一角。

晶圓廠、設備廠與零部件廠，是半導體制造這一環節中的三個關鍵角色。

晶圓廠作為下游買方，要對設備進行驗證和篩選，其提供的訂單也驅動著設備廠的生產銷售。

同理，設備廠也是零部件廠商的買方。當前制造業全球化分工高度精細，大部分半導體設備廠商都會通過進口零部件來完成產品的生產。

聽上去是很簡單的線性關系？

然而，如《三體Ⅰ》中寫道，“三體是一個混沌系統，會將微小的擾動無限放大”。在國際貿易地緣沖突之下，合作互惠、共同成長的動態平衡被打亂，整個半導體產業開始出現垂直整合趨勢。

中美科技戰打響后，國內晶圓廠采購進口設備受到了限制，再精妙的設計圖紙也是巧婦難為的無米之炊。

而另一邊，國內的設備廠實力還不夠強大，尚在薄利多銷的成長期。當關鍵零部件被卡了脖子，一時間造出能用的設備都成了難題。

一方面是自身供應鏈的穩定性，一方面是產品銷售的利潤空間，雙重因素的催化下，一些國內設備廠開始逐步培育國內其他行業的加工商，或自己投身半導體設備精密零部件加工，以期實現“零部件自由”。

為長江存儲、華虹集團等晶圓廠供應CMP設備的華海清科，是半導體國產替代的新星，也面臨著行業降本增效的痛點。由于核心零部件依賴進口，公司生產成本居高不下，毛利率不到30％。

對此，華海清科披露，正在通過開發第二供應商及更換零部件選型等方式，獲得更高性價比的原材料。

無獨有偶，萬業企業于2018年收購凱世通，橫向切入半導體設備賽道，隨后便在2020年收購Compart Systems，縱向拓展了零部件業務。

當設備廠開始通過并購或自研供應零部件時，其與零部件廠商的競爭關系就產生了。晶圓廠作為設備的最終使用者，會在二者的零部件之間進行驗證選擇，零部件廠商就有了被替代的風險。

不甘于做設備廠的附庸，一些零部件廠商也不再局限于機械加工，開始嘗試整合資源，提供整套設備服務。

在三體星系中，風和日麗的“恒紀元”極其短暫，沖突與碰撞的“亂紀元”才是常態。晶圓廠的產能提升急需充足的合格設備，而設備廠與零部件廠商各自謀求攻占對方的領地，彼此相斥。

在混亂的產業格局下，國產零部件應該如何求得生存與發展？

零部件的“狂飆”路

在《狂飆》中，高啟強上位初期經常捧著《孫子兵法》看，其中一句話對他產生了很大影響：“歸師勿遏，圍師遺闕，窮寇勿迫。”

放到半導體產業的語境中，這句話可以理解為，當封鎖和制裁到了極端，就必然會遭到對方的反噬。

國產零部件，就是這樣被逼上了一條“狂飆”之路。

原因之一是零部件行業的內生因素。

由于零部件細分品類的高度碎片化，且不同零部件之間存在著一定的差異性和技術壁壘，半導體設備零部件市場沒有出現一家獨大的局面，企業集中度不高。

因此，國內零部件廠商呈現規模小、數量多、產品利潤薄的窘境，細分領域的新產品新技術的研發投入無法與海外龍頭相比。

二是中美科技戰的外在因素。

目前國產設備大多先采用技術成熟的進口零部件，再逐步用設備、打磨設備，替換上低成本的國產零部件。

在這個打磨的過程中，技術隊伍需要不斷修改設計和參數，深入研究原理性問題，從而擺脫外協，提高對核心部件工藝的理解和改造能力。

現階段國內設計人才稀缺與工藝水平有限，決定了這是一個漫長又痛苦的過程。

而科技戰已經到了深水區，卡脖子的手伸向了光刻機等半導體設備，先進工藝節點、高端領域的核心零部件技術都掌握在海外巨頭的手中，一些生產線上的高端數控機床等仍依賴進口。

國內零部件廠商本身不具備規模效應，一旦遭到限供或斷供，現有產品的擴產將陷入停滯，更難有余力去拓展新領域。

那么，被逼到絕境的國產零部件，怎樣才能絕地反擊？

首先，單靠市場力量是遠遠不夠的。國內半導體零部件企業要獲得足以與國際廠商競爭的研發和量產實力，必定需要政府實施相關專項政策加以引導和財政扶持，幫助其迅速壯大。

同時，產業鏈的整頓與團結是繞不過的坎。

國內晶圓廠需要積極為國產設備和核心零部件提供試錯機會，才能盡快找出不足，加以改進。

在這方面，國家可以出資，幫助晶圓廠在生產線之外單獨建立實驗線，全力攻關國產設備，加速核心零部件工藝的改良完善與迭代升級。

此外，集中力量辦大事向來是我國面對危機的優勢。對于產業鏈中垂直整合的趨勢，需要加以規范和適當引導：一方面發揮設備廠的串聯作用，主動推進優質零部件廠商的認證，為其進入晶圓線打開通路；另一方面要鼓勵零部件廠商拓展業務品類，保障本土設備供應鏈。

在設備整機已經嚴重依賴西方的局勢下，零部件的國產化進程將很大程度上決定未來我國的半導體產能。

以小撬大，需要背水一戰的決心，和傾盡全力的苦干。

硝煙四起，國產零部件已經沒有退后余地，唯有一路狂飆，才能突破重圍，求得生存和發展。

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