W. L. Gore & Associates 和 CT Associates 發(fā)布了一份白皮書，介紹一種新的測量方法，能夠測量半導(dǎo)體行業(yè)超純水中小于50nm的顆粒，并通過超濾(UF)和微濾(MF)的組合去除最小達(dá) 12nm 的顆粒。
Gore(R) 過濾芯
半導(dǎo)體廠商們希望知道的是，他們的 UPW 系統(tǒng)能夠生產(chǎn)不含微小顆粒的水，這些微小顆粒會(huì)導(dǎo)致良率問題。當(dāng)他們的線寬更小時(shí)，這種嚴(yán)格的顆粒尺寸可以小到10nm或更小。當(dāng)前的顆粒計(jì)數(shù)儀不能測量這么微小的顆粒，但是半導(dǎo)體廠商需要知道的是，他們的UPW系統(tǒng)所采用的過濾策略要有能力捕獲這么微小的顆粒。
目前已經(jīng)開發(fā)出的顆粒檢測技術(shù)能夠讓過濾芯廠商在實(shí)驗(yàn)室的環(huán)境下測量對這種微小顆粒的過濾效率。這種技術(shù)依賴于將UPW蒸發(fā)變成氣態(tài)霧狀的創(chuàng)新方法。即讓來自 UPW 的顆粒保持氣相，從而使其能通過常規(guī)氣態(tài)顆粒探測儀精確測定微小顆粒的尺寸和數(shù)量。
這種方法目前已經(jīng)廣泛用來評估大多數(shù) UPW 系統(tǒng)所采用的超濾模組的過濾性能。該測試顯示，盡管這些超濾模組具有很高的過濾精度，但一些極小的顆粒仍能穿過超濾膜，從而給半導(dǎo)體廠商帶來風(fēng)險(xiǎn)。該測試方法還進(jìn)一步顯示，一種過濾精度極高的微濾過濾芯能夠截留大部分的微小顆粒。最后，驗(yàn)證了同時(shí)采用超濾模組和高精度微濾過濾芯的過濾系統(tǒng)對小至12nm的顆粒展示了卓越的過濾效果。
最新的白皮書“超濾和微濾相結(jié)合能夠去除 UPW 中12nm的顆粒”，由 CT Associates, Inc. 的 Donald C Grant 和 Dennis Chilcote 以及 W. L. Gore and Associates, Inc. 的 UweBeuscher 共同撰寫，可在線閱讀 www.ultrapurewater.com 上 ULTRAPURE WATER® Journal 的5/6月刊。它還將在11月13-14日亞利桑那州鳳凰城的“超純水-微會(huì)議”上演示。會(huì)議的具體信息請見： http://www.ultrapurewater.com/Conferences/Phoenix.HTM
W. L. Gore & Associates, Inc. 公司簡介
GORE聚四氟乙烯濾膜，在全球半導(dǎo)體、電子、超純水、高純化學(xué)品行業(yè)用最佳過濾器中已有數(shù)十年的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。30多年來，戈?duì)栆元?dú)創(chuàng)、可靠的PTFE薄膜產(chǎn)品，幫助了眾多微電子廠商提高生產(chǎn)效率、降低設(shè)備停機(jī)時(shí)間并提升通量。在電子、織物、工業(yè)和醫(yī)療市場上，戈?duì)柟緭碛袛?shù)千種采用先進(jìn)技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品，是全球領(lǐng)先的廠商。除最為熟知的防水透氣型GORE-TEX®織物之外，公司的系列產(chǎn)品還包括涉獵廣泛的各種創(chuàng)新，包括從吉他弦到挽救生命的心血管器械。戈?duì)柟究偛课挥谔乩A州紐瓦克市，全球銷售額約為30億美元，員工達(dá)9000人，分布在全球30個(gè)國家。自1984年，《財(cái)富》雜志的“全美100家最適合工作的企業(yè)”排行榜開始評選以來，戈?duì)柺敲磕昃脒x的僅有四家公司之一。要了解更多情況，請見 http://www.gore.com.cn/
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