1月6日消息，此前，ASML傳出其柏林工廠發(fā)生火災的消息，不過ASML并未公布受損情況。
時至今日，市調機構TrendForce公布了該起火災的初步調查結果：ASML的32000平方米的柏林廠區(qū)中，約有200平方米的廠區(qū)受到火災影響，并且該部分廠區(qū)主要負責供應EUV光刻機的光學部分的零組件，所以，這場火災或將導致ASML的EUV光刻機的交付時間。
目前的光刻機市場里，只有ASML一家企業(yè)可以供應EUV光刻機。2021年10月，ASML發(fā)布了其Q3財報，總營收為52．4億歐元（約合人民幣390．3億元），同比增長32．3％，環(huán)比增長30．3％；凈利潤為17．4億歐元（約合人民幣129．6億元），同比增長64．2％，環(huán)比增長67．3％；
ASML總裁Peter Wennink表示，ASML三季度的光刻機訂單新增金額62億歐元，單季EUV光刻機的出貨量及營收都創(chuàng)歷史新高，其中，EUV光刻機的訂單量達到了29億歐元，目前，ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE：3600D，其在客戶那里也達到了每小時加工160片晶圓的創(chuàng)紀錄效率。
值得一提的是，目前全球性的芯片短缺問題至少將持續(xù)到今年年底，而且當前多家芯片代工廠正規(guī)劃建設更多的芯片制造廠以擴充芯片產能，對于EUV光刻機設備的需求量巨大，如果這次火災影響到了光刻機的交付，或將對整個半導體產業(yè)帶來巨大沖擊。
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