隨著疫情反彈導致全球部分地區(qū)的海運緊張、港口和通關(guān)阻滯，運輸存儲、交期相對敏感的電子材料供應鏈仍然危機重重。據(jù)CSIA（中國半導體行業(yè)協(xié)會）消息，8月2日，上海市集成電路行業(yè)協(xié)會收到中芯國際、華宏虹力等公司的反饋，浦東國際機場由于疫情突發(fā)，導致冷鏈運輸貨物分撥不暢，大量貨物滯留在海外。其中便包括光刻膠。

光刻膠又稱光致抗蝕劑，它是指由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分構(gòu)成的對光敏感的混合液體。在紫外光、電子束、離子束、X 射線等輻射的作用下，其感光樹脂的溶解度及親和性由于光固化反應而發(fā)生變化，經(jīng)適當溶劑處理，溶去可溶部分可獲得所需圖像。

光刻工藝是指在光照作用下，借助光刻膠將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到基片上的技術(shù)，在半導體制造領(lǐng)域，隨著集成電路線寬縮小、集成度大為提升，光刻工藝技術(shù)難度大幅提升，成為延續(xù)摩爾定律的關(guān)鍵技術(shù)之一。同時，器件和走線的復雜度和密集度大幅度提升，高端制程關(guān)鍵層次需要兩次甚至多次曝光來實現(xiàn)。其中，光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素。目前，高端光刻膠市場主要由日本和美國光刻膠巨頭主導。

此外，由于光刻膠保質(zhì)期短（平均6個月左右），長期滯留不僅貨物本身會造成損失，中芯國際、華虹集團等企業(yè)也會因光刻膠短缺存在停工停產(chǎn)的風險。

經(jīng)上海市集成電路行業(yè)協(xié)會與上海市經(jīng)委運行處商議，采用“包機”的形式將自8月初開始滯留的貨物一次性運輸至上海。8月31日，上海市集成電路行業(yè)協(xié)會召集國際知名光刻膠供應商杜邦、默克、住商、信越等企業(yè)討論“包機”紓困方案。

截至目前，在供應鏈與東航物流、上海海關(guān)、浦東機場海關(guān)等多部門的支持下，上海市集成電路行業(yè)協(xié)會分別于9月10日和10月17日完成2次包機任務，共運輸光刻膠53.78噸。