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臺積電準備采用國產5nm光刻機

2018-12-27

  眾所周知,半導體工藝是非常高精密的高科技工藝,像臺積電這種新工藝界的帶頭人也不可能自己完全搞定,而是依賴整個產業鏈的設備和技術供應,比如大家比較熟悉的光刻機,但是設備僅僅來自荷蘭ASML(阿斯麥)一家。

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  ASML一年最多可以生產12臺EUV光刻機(NXE:3400B),單臺價格超過8億人民幣,媲美一架美軍F35戰機。臺積電在去年砸錢搶到了幾臺,才讓其7nm EUV極紫外光刻工藝芯片完成首次流片,并且臺積電的7nm產線已經被AMD等大廠預定。

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  不過從更先進的5nm工藝時代開始,這一壟斷恐怕要打破了。近日有實錘在臺積電的5nm生產線中,就有來自我國深圳中微半導體的5nm等離子體蝕刻機,完全自主研發,并且已經通過了臺積電的驗證,臺積電的5nm工藝就靠它。中微半導體CEO尹志堯驕傲地形容說:“在米粒上刻字的微雕技藝上,一般能刻200個字已經是極限,而我們的等離子刻蝕機在芯片上的加工工藝,相當于可以在米粒上刻10億個字的水平?!眹a能有這樣的成就,中國芯片將屹立世界之巔可不是玩笑話了。


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