基于DSP增益可控的光刻機(jī)測(cè)高電路的設(shè)計(jì)研究
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aetmagazine
文檔大小：491 K
標(biāo)簽： 激光三角法 線陣CCD 數(shù)字信號(hào)處理器
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文檔介紹：介紹了激光三角法高度測(cè)量技術(shù)和基于數(shù)字信號(hào)處理器DSP與線陣CCD的激光高度測(cè)量系統(tǒng)。采用比例恒流源和鏡像恒流源組合，設(shè)計(jì)了輸出功率穩(wěn)定可調(diào)的激光二極管驅(qū)動(dòng)電路和線陣CCD的驅(qū)動(dòng)電路，借助DSP定時(shí)器周期調(diào)節(jié)靈活的優(yōu)點(diǎn)，方便地調(diào)節(jié)光積分時(shí)間來提高信號(hào)質(zhì)量。針對(duì)光刻工藝中不同的測(cè)量對(duì)象表面的光學(xué)特征，自動(dòng)進(jìn)行激光二極管增益控制和光積分時(shí)間調(diào)節(jié)，提高測(cè)量的適應(yīng)性和測(cè)量效率。
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