采用平面分柵結構的高增益寬帶射頻VDMOS研制
所屬分類:技術論文
上傳者:aetmagazine
文檔大?。?span>843 K
標簽: 射頻 場效應晶體管 分柵
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文檔介紹:硅基射頻場效應晶體管具有線性度好、驅動電路簡單、開關速度快、熱穩定性好、沒有二次擊穿等優點,在HF、VHF和UHF波段具有廣闊的應用前景。針對射頻場效應晶體管寬帶、高增益和高效率的應用需求,基于標準平面MOS工藝,采用平面分柵(split gate)結構,通過優化結構和工藝參數研制出一款工作電壓為28 V的硅基射頻垂直雙擴散金屬氧化物半導體場效應晶體管(VDMOS)。該器件在30~90 MHz頻段范圍內,小信號增益大于19 dB,在60 MHz頻點下連續波輸出功率可以達到87 W,功率附加效率達72.4 %,具有優異的射頻性能。
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