基于體硅MEMS工藝的射頻微系統沖擊特性仿真研究*
電子技術應用
馮政森1，王輅1，曾燕萍1，楊兵1，祁冬2，王志輝2，張睿2
1.中國電子科技集團公司第五十八研究所，江蘇 無錫214035；2.中國電子科技集團公司第十研究所，四川 成都610036
摘要： 高過載沖擊試驗成本高、周期長，同時失效檢測手段較少，難以定位結構薄弱點。針對體硅工藝MEMS（Micro-electromechanical System）射頻微系統，采用沖擊響應譜與瞬態動力學方法，研究板級與試驗條件下的高沖擊載荷響應。仿真結果表明，該射頻微系統能夠承受高沖擊過載，仿真結果可提前預判結構失效點，提高產品抗沖擊可靠性。
中圖分類號：TN403；TP212 文獻標志碼：A DOI: 10.16157/j.issn.0258-7998.234326
中文引用格式： 馮政森，王輅，曾燕萍，等. 基于體硅MEMS工藝的射頻微系統沖擊特性仿真研究[J]. 電子技術應用，2024，50(2)：65-70.
英文引用格式： Feng Zhengsen，Wang Lu，Zeng Yanping，et al. Simulation study on impact characteristics of RF microsystem based on bulk silicon MEMS process[J]. Application of Electronic Technique，2024，50(2)：65-70.
中文引用格式： 馮政森，王輅，曾燕萍，等. 基于體硅MEMS工藝的射頻微系統沖擊特性仿真研究[J]. 電子技術應用，2024，50(2)：65-70.
英文引用格式： Feng Zhengsen，Wang Lu，Zeng Yanping，et al. Simulation study on impact characteristics of RF microsystem based on bulk silicon MEMS process[J]. Application of Electronic Technique，2024，50(2)：65-70.
Simulation study on impact characteristics of RF microsystem based on bulk silicon MEMS process
Feng Zhengsen1，Wang Lu1，Zeng Yanping1，Yang Bing1，Qi Dong2，Wang Zhihui2，Zhang Rui2
1.The 58th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation， Wuxi 214035， China； 2.The 10th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation， Chengdu 610036， China
Abstract： The high overload impact test is costly and time consuming, and the failure detection means are few, so it is difficult to locate the weak points of the structure. In this paper the impact response spectrum and transient dynamics method are used to study the impact load response of a RF microsystem based on bulk silicon micro-electromechanical system(MEMS) at plate level and under experimental conditions. The simulation results show that the RF microsystem can bear a high impact load，which can predict the structural failure point so as to improve the impact reliability of product.
Key words : bulk silicon MEMS；RF microsystem；impact；response spectrum；transient dynamics；reliability
引言
航空航天設備的發展趨勢是小型化、輕量化，同時需要高可靠性以適應強沖擊與高過載環境，射頻微系統相較于傳統的射頻類板卡產品，集成度高、質量輕、慣性小，非常適用于各類高速飛行體。在高速飛行系統中應用微系統技術, 能夠有效縮小系統的體積、減輕系統的重量、提高系統的性能和可靠性[1]。
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作者信息：
馮政森1，王輅1，曾燕萍1，楊兵1，祁冬2，王志輝2，張睿2
1.中國電子科技集團公司第五十八研究所，江蘇 無錫214035；2.中國電子科技集團公司第十研究所，四川 成都610036
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