10月5日，浙江麗水經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)披露其重大項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)展。半導(dǎo)體大硅片/功率晶圓制造項(xiàng)目在列。
總投資約120億元的富樂(lè)德半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目，主要建設(shè)12英寸拋光片項(xiàng)目和傳感器、功率器件等半導(dǎo)體項(xiàng)目。目前在建的首期項(xiàng)目建成后，將形成年產(chǎn)360萬(wàn)片12英寸半導(dǎo)體拋光片的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品具有代替進(jìn)口產(chǎn)品等特點(diǎn)，據(jù)此前報(bào)道，預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值22億元。首期項(xiàng)目負(fù)責(zé)人馮濤介紹，該項(xiàng)目于今年7月開(kāi)始建設(shè)，首期項(xiàng)目的主體單體結(jié)構(gòu)計(jì)劃于今年年底封頂，項(xiàng)目預(yù)計(jì)明年8月竣工。
此外，總投資50億元的浙江旺榮半導(dǎo)體有限公司8英寸功率器件項(xiàng)目，總用地面積102畝，分為兩期建設(shè)，全部達(dá)成后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)72萬(wàn)片8英寸功率器件芯片。目前在建的一期項(xiàng)目年產(chǎn)24萬(wàn)片8英寸功率器件半導(dǎo)體項(xiàng)目入選2023年省重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目名單，于去年8月開(kāi)工，現(xiàn)已進(jìn)入建設(shè)收尾階段。該公司廠務(wù)企劃經(jīng)理尹新哲介紹，工程師和施工人員正在對(duì)潔凈廠房、機(jī)電等進(jìn)行最后的監(jiān)測(cè)和調(diào)試，廠區(qū)道路也正在硬化，已經(jīng)有一半的生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)駐廠房。
富樂(lè)德上下游項(xiàng)目均進(jìn)展順利，SiC產(chǎn)線填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白
今年2月，富樂(lè)德半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目簽約經(jīng)開(kāi)區(qū)，總投資約120億元，總用地約400畝，主要建設(shè)12英寸拋光片項(xiàng)目和傳感器、功率器件等半導(dǎo)體項(xiàng)目，2023年度計(jì)劃投資10億元。今年3月份首期用地成功摘牌。
除12英寸硅拋光片項(xiàng)目外，傳感器子項(xiàng)目總投資20億元，主要建設(shè)溫度傳感器制品生產(chǎn)線，產(chǎn)品將應(yīng)用于無(wú)人駕駛汽車、工業(yè)和醫(yī)療等領(lǐng)域，已于今年8月4日正式簽約。
除麗水經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)項(xiàng)目，浙江富樂(lè)德半導(dǎo)體材料有限公司在國(guó)內(nèi)還建設(shè)了一條化學(xué)氣相沉積制備碳化硅產(chǎn)線，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。
今年8月3日，位于衢州市常山縣的浙江大和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園三期建設(shè)項(xiàng)目竣工儀式舉行。三期建設(shè)項(xiàng)目由浙江盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司和浙江富樂(lè)德半導(dǎo)體材料科技有限公司投資建設(shè)，總投資近20億元。浙江盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司將導(dǎo)入高純硅部件項(xiàng)目，為不斷增長(zhǎng)的國(guó)產(chǎn)化半導(dǎo)體裝備需求提供支持。浙江富樂(lè)德半導(dǎo)體材料科技有限公司將導(dǎo)入高純氧化鋁及化學(xué)氣相沉積碳化硅產(chǎn)品生產(chǎn)線，氧化鋁產(chǎn)品具備優(yōu)異的耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、耐磨耗、高導(dǎo)熱、高絕緣性等特點(diǎn)，被廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體、LED液晶顯示、激光、醫(yī)療設(shè)備等高精尖領(lǐng)域。其中，根據(jù)環(huán)評(píng)報(bào)告顯示，CVD制備SiC項(xiàng)目將形成集材料燒結(jié)、材料制備加工洗凈為一體的生產(chǎn)線，最終形成年產(chǎn)96000件套產(chǎn)品的規(guī)模。
氣相沉積碳化硅以優(yōu)異的導(dǎo)熱性、高溫穩(wěn)定性、高電場(chǎng)承受力以及機(jī)械性能而在半導(dǎo)體行業(yè)得到廣泛應(yīng)用，如封裝材料，如MOSFET、IGBT等的基板或襯底材料等等，可有效提升半導(dǎo)體功率器件的穩(wěn)定性和可靠性。但氣相沉積碳化硅的制備工藝流程復(fù)雜，設(shè)備成本高昂，規(guī)模化生產(chǎn)穩(wěn)定性的控制對(duì)專業(yè)技術(shù)挑戰(zhàn)很大，這都使得國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域長(zhǎng)期處于空白。富樂(lè)德母公司Ferrotec（日本磁性技術(shù)控股股份有限公司）集團(tuán)在氣相碳化硅領(lǐng)域擁有30年的技術(shù)積淀，其獨(dú)有的CVD法的SiC成膜技術(shù)，可提供低成本且高性能的產(chǎn)品，具有超高純度、高耐腐蝕性、高抗氧化性、高耐熱性、高耐磨性等特點(diǎn)。
據(jù)了解，項(xiàng)目全部滿產(chǎn)后，浙江大和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值近50億元，成為集高純石英部件、精密半導(dǎo)體金屬部件、熱電半導(dǎo)體制冷器件、高純硅部件、化學(xué)氣相沉積碳化硅，精密半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)品的生產(chǎn)、研發(fā)、銷售為一體的全球半導(dǎo)體裝備核心零部件重要制造生產(chǎn)基地。
值得一提的是，富樂(lè)德母公司Ferrotec（中國(guó)）于1992年成立于浙江杭州，是一家由日本磁性技術(shù)控股有限公司在華設(shè)立的集產(chǎn)品研發(fā)、制造、銷售于一體的多元化企業(yè)，旗下管理的30多家公司遍布中國(guó)各地，為國(guó)內(nèi)外客戶提供材料、器件、裝備和系統(tǒng)解決方案，以磁性流體技術(shù)和磁流體密封技術(shù)為基石，從事半導(dǎo)體硅片、熱電半導(dǎo)體致冷材料與器件、半導(dǎo)體石英制品、精密陶瓷制品、半導(dǎo)體真空傳動(dòng)裝置及大型腔體、電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)、精密洗凈、覆銅陶瓷基板（DCB、AMB、DPC）、半導(dǎo)體裝備、單晶爐等產(chǎn)品的研發(fā)、制造和銷售。旗下包含已上市的安徽富樂(lè)德（半導(dǎo)體設(shè)備洗凈服務(wù)），以及正在申請(qǐng)上市的中欣晶圓（國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體大硅片產(chǎn)能領(lǐng)先廠商）等多家知名企業(yè)。
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