近日舉行的2020中國(guó)國(guó)際石墨烯創(chuàng)新大會(huì)上，8英寸石墨烯單晶晶圓的亮相，吸引了筆者的目光。

有媒體報(bào)道稱，它「展示了我國(guó)在高質(zhì)量石墨烯材料領(lǐng)域的創(chuàng)新成果」。報(bào)道表示「在上海市石墨烯產(chǎn)業(yè)技術(shù)功能型平臺(tái)的推動(dòng)下，科研團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了這些成果的小批量生產(chǎn)，產(chǎn)品尺寸和質(zhì)量處于國(guó)際『領(lǐng)跑』地位」。

據(jù)悉，中科院上海微系統(tǒng)所科研團(tuán)隊(duì)自2009年起瞄準(zhǔn)石墨烯單晶制備及其電子器件應(yīng)用的課題開始了攻關(guān)研究。

中科院上海微系統(tǒng)所副研究員吳天如表示：「就像制造硅芯片的材料是一片片硅單晶晶圓，想用石墨烯等碳基二維材料實(shí)現(xiàn)電子器件集成，開啟微電子技術(shù)變革，就必須制備出大尺寸、高質(zhì)量的石墨烯單晶晶圓。」

科研團(tuán)隊(duì)在國(guó)家科技重大專項(xiàng)、上海市科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃項(xiàng)目支持下，從生長(zhǎng)出單層到單晶，再到原子級(jí)平整的大面積晶圓，讓石墨烯從用膠帶剝離出幾微米的樣品，升級(jí)為可以規(guī)模化生產(chǎn)的8英寸晶圓。

為早日實(shí)現(xiàn)石墨烯晶圓量產(chǎn)，中科院上海微系統(tǒng)所2019年9月與上海市石墨烯功能型平臺(tái)簽訂了協(xié)議，提供有成本競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。

石墨烯晶圓的小批量生產(chǎn)，被認(rèn)為是為新一代國(guó)產(chǎn)電子器件的研發(fā)奠定了基礎(chǔ)。