芯片制程已經推進到了7nm以下，這其中最關鍵的核心設備就要數EUV光刻機了，目前全世界只有荷蘭ASML（阿斯麥）可以制造。
來自Digitimes的報道稱，臺積電打算在2021年底前購置55臺EUV光刻機，以加快EUV相關工藝制程的發展。
實際上，當前全球一半投入使用的EUV光刻機都在臺積電手中，而截止今年二季度結束，ASML累計出貨了大概71臺光刻機，也就是臺積電安裝（注意，從獲取零件到校準機器使用還需要小半年時間）了30臺左右，還有25臺的缺口。
ASML今年下半年計劃出貨22臺光刻機，明年全年最多50臺，換言之，臺積電打算搶下這其中超過1/3的供貨。
更關鍵的是，一臺EUV光刻機的價格大概是1.2億美元（約合8億元人民幣），也就是在2020年底前，臺積電買EUV機器就要花超過440億元人民幣，大約相當于臺積電當前兩個月的總收入了。
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