昨日，臺灣對臺南科學園區的擴廠案進行環評大會，其中涉及到了臺積電的3納米廠6000億元新臺幣的投資計劃。在8月15日的第一次審查中，由于臺積電承諾未來用電20%將用綠電，每日使用再生水7.3萬噸，專案小組一次審查就過關并決定今天環評大會將議決通過。

　　但南部環保組織對此頗有疑慮，認為臺積電各廠所用電力都來自高雄興達電廠，應先淘汰燃煤機組，改為燃氣才能減少空氣污染。專案小組只審查一次就通過太草率，有放水之嫌，所以應該重審。

　　今日的環評大會要求開發單位在三個月內，補充和修正節能20%的具體措施和再生能源的完善日程及管控方式等，下次環評大會中再進行內部討論。

　　本次的環評主要聚焦在臺南科學園區的擴廠后所增加的用水和用電問題，環委指出，因應臺積3nm設廠需要，南科臺南基地，每日用水量將由25萬噸增至32.5萬噸，溫室氣體排放量一年增加427萬噸，用電量則由222萬瓦增至299.5萬瓦；這意味著整個興達港的發電都要供給臺積電，要求臺積電必須說明未來電力的問題如何解決。

　　臺積電回應稱，預計2023年后陸續會有更多燃氣機組上來，可以滿足所有用電需求；臺南市政府則表示，近年臺南市在太陽能發電發展較多，最近幾年應該可以達到極大化，建議臺電未來可以將太陽能發電優先調配。

　　最后環評大會決定，要求開發單位在2019年2月28日前補充意見、修正后，再提交環評大會進行內部討論。

　　3nm將在2022年量產

　　臺積電作為世界級的處理器代工廠商，在近幾年的CPU工藝方面頗為激進，其10nm工藝正大規模量產中，并正加速推進7nm以及5nm的研發力度。不過除了這些，更為高端的3nm制程工藝也已經曝光，據了解，臺積電計劃中的全球第一座3納米廠將耗資6000億元新臺幣，并在2020年動工，2022年開始量產。

　　目前臺積電的工廠一直以臺灣為大本營，其中10nm位于中科廠Fab 15五到六期；7nm位于七到九期，2018年量產；5nm則位于南科廠Fab 14九期，2019年下半年量產。而3nm臺積電則考慮赴美投資建廠，投資額高達5000億臺幣，主要原因是南科方面從提出投資方案到通過環評審核，至少需要5年時間，而且空氣質量、電力供應都不夠達標。

　　3nm技術可以說已經接近半導體工藝的物理極限，而其目前也處于實驗室階段，臺積電透露其正與設備廠商、材料供應商共同研究技術途徑。