微機電系統(tǒng)（MEMS）消費應用已經(jīng)成為眾所矚目的焦點，不過，在工業(yè)方面的應用也正迅速發(fā)展。如今，業(yè)界正定義出一個利用 MEMS 技術的新型態(tài)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)（Industrial IoT；IIoT）領域，包括從資產(chǎn)追蹤系統(tǒng)、智慧電網(wǎng)到智慧建筑自動化等應用，都將為市場帶來巨大沖擊。
“我認為在未來十年，MEMS消費應用的出貨量和收入仍將持續(xù)大幅超過工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)MEMS市場，”IHS總監(jiān)暨MEMS感測器資深首席分析師Jeremie Bouchaud表示，“IHS預期在2018年時，全球 MEMS 消費與行動應用將達到57億美元，比由工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) MEMS 市場產(chǎn)生的3.34億美元收入更高得多。”
然而，所有的 MEMS 業(yè)界巨擘——意法半導體（STMicroelectronics；ST）、博世（Bosch）、樓氏（Knowles）和應美盛（InvenSense） 等公司均瞄準了工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)應用的成長領域。傳統(tǒng)的工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)應用包括導航、地震勘探、醫(yī)療、軍事、航空以及制程控制等，此外，還有一連串的全新工業(yè)應用成長速度更快，包括從智慧電表到智慧家庭到智慧城市等。
MEMS 工業(yè)應用
預計在2018年時，以工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)推動的 MEMS 工業(yè)應用將帶來3.34億美元的市場規(guī)模。
（來源：IHS，2014/12）
IHS預測，全球 MEMS 工業(yè)IoT市場在2013年時約有18億只，可望在2015年時增加到73億只，包括獨立式節(jié)點、控制器以及一系列范圍廣泛的基礎設施應用，從智慧卡到商用運輸?shù)焦I(yè)自動化到照明以及醫(yī)療保健等。
工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)應用的硬體裝置
針對工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)應用的硬體裝置出貨量
（來源：IHS，2014/12）
Bouchaud表示，還有越來越多的MEMS工業(yè)應用于農(nóng)業(yè)到資料中心等領域。
例如，農(nóng)耕正變得越來越先進復雜。美商亞德諾（ADI）公司已經(jīng)出貨數(shù)十萬個加速度計，用于遙測監(jiān)控系統(tǒng)。汽車的黑盒子以及物品追蹤性能也變得較以往更有利于預測推估。這些裝置中都搭載了約十顆感測器，至少在這一類的應用中，加速度計是基本需求。業(yè)界許多公司都銷售慣性感測器，包括ADI、飛思卡爾（F）以及和村田（Murata），均受惠于這一類應用的顯著成長動能。
MEMS也在資料中心迅速成長，其中光學 MEMS 已經(jīng)從先前采用光交叉連接（OXC）應用的失敗中復蘇了。Bouchaud表示：“資料庫機架結合至叢集（伺服器轉址域或機架頂端型交換器［TOR］），連接至資料中心的匯聚伺服器或直接連接至主機網(wǎng)路。由于資料與客戶端的特性，在資料庫以及資料中心TOR的應用方式以及其上的資料流向也不盡同。資料中心伺服器層（匯聚層）連接至彼此的叢集或TOR。這是 OXC 的第一層，用于協(xié)助管理大量的光學互連。”
波長選擇型開關可重配置光塞/取多工器（WSS-ROADM）也正迅速普及，而 MEMS時序元件可提供更小型且更準確的時脈，用于同步資料傳輸轉換設備。
IHS 預測，在這些工業(yè)應用中，建筑物自動化將是最主要的收入來源，其次依序是資產(chǎn)追蹤、智慧電網(wǎng)（包括智慧電表）、智慧城市、智慧工廠、地震監(jiān)測、無人機以及機器人等。資料中心處理在從 IoT 裝置而來的大量資訊時，也將帶動對于光纖 MEMS 的需求，包括從 OXC 到 WSS 到 MEMS 晶圓探棒等。
編譯：Susan Hong