中芯國際集成電路制造有限公司(簡稱“中芯國際”)，世界領先的集成電路晶圓代工企業(yè)之一，中國內地規(guī)模最大、技術最先進的集成電路晶圓制造企業(yè)，與中國科學院微電子研究所簽訂MEMS研發(fā)代工平臺合作協議，共同進行MEMS傳感器標準工藝開發(fā)，合作打造完整的MEMS產業(yè)鏈。

　　根據協議，中芯國際與中國科學院微電子研究所將進行深度合作，充分發(fā)揮微電子所在MEMS傳感器設計和成套工藝設計方面的優(yōu)勢，以及中芯國際在標準化工藝平臺、產業(yè)地位及市場影響力方面的優(yōu)勢，以MEMS環(huán)境傳感器的開發(fā)為牽引，并結合其他類型MEMS傳感器結構特點，推進傳感器工藝技術的標準化、平臺化和量產化，縮短從設計方案到量產產品的距離，促進MEMS產業(yè)的快速發(fā)展。

　　“中芯國際研發(fā)團隊在傳感器領域持續(xù)開發(fā)新的工藝平臺，引進新客戶，取得了很多新的成績。中芯國際愿意開放平臺，支持商業(yè)化生產、學校和科研院所的研發(fā)。”中芯國際首席執(zhí)行官兼執(zhí)行董事邱慈云博士表示，“中芯國際與微電子所在多個邏輯工藝開發(fā)項目上已有良好的合作基礎，此次我們將繼續(xù)深入合作，共同推進MEMS傳感器的成套標準化工藝開發(fā)，協助整合并完善MEMS產業(yè)鏈。”

　　中國科學院微電子所所長葉甜春參觀了中芯國際 MEMS 傳感器中段生產線，并表示，“通過微電子所和中芯國際的產學研合作，我們可以發(fā)揮雙方的優(yōu)勢，共同建設MEMS公共技術服務平臺和電子化MEMS產業(yè)鏈信息整合平臺，集產品設計、加工制造、封裝、測試、公共平臺、風險投資為一體，形成產業(yè)鏈上下游關系的協同以及公共資源的最大化共享，為全球及中國MEMS產業(yè)發(fā)展提供有力的支撐。”