-立昂東芯微電子從Ferrotec訂購中國第一臺(tái)Temescal UEFC系列的精密電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

　　-中國最大的太陽能肖特基集成電路公司為其新建的砷化鎵晶圓代工企業(yè)引進(jìn)先進(jìn)的Auratus?鍍膜工藝優(yōu)化技術(shù)

　　加州圣克拉拉2016年6月29日電 /美通社/ -- Ferrotec公司（JASDAQ：6890）今天證實(shí)，中國客戶訂購的首臺(tái)采用 Auratus 技術(shù)的先進(jìn)鍍膜設(shè)備 (Temescal UEFC 系列精密電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備)將交付于杭州立昂東芯微電子有限公司。立昂東芯微電子是杭州立昂微電子股份有限公司創(chuàng)建的從事砷化鎵晶圓代工業(yè)務(wù)的新公司，而立昂微電子則是中國功率半導(dǎo)體的領(lǐng)先供應(yīng)商。立昂東芯選用 Temescal UEFC 系統(tǒng)，以便他們的客戶受益于近乎完美的薄膜沉積均勻性，并且大大減少貴重鍍膜材料的消耗。

　　“隨著中國移動(dòng)設(shè)備和物聯(lián)網(wǎng)（Internet of Things）市場的迅猛增長，對基于砷化鎵材料的下一代半導(dǎo)體芯片的需求也越來越大。為了確保我們新創(chuàng)的砷化鎵晶圓代工公司的成功，我們需要一種設(shè)備可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)大產(chǎn)能、高材料利用率和穩(wěn)定均勻的工藝結(jié)果，從而盡可能降低我們的總體擁有成本 ” 汪耀祖博士 (立昂東芯的首席運(yùn)營官) 說 。 “經(jīng)過認(rèn)真嚴(yán)格的評估后，我們認(rèn)為 Ferrotec 的 Temescal UEFC 系統(tǒng)是滿足我們對薄膜厚度、成分以及顆粒控制等技術(shù)要求的首選電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備。我們將期待能用這種系統(tǒng)制造出高性能的芯片。”

　　“中國政府一直努力促進(jìn)半導(dǎo)體芯片制造的自給自足，而杭州立昂東芯微電子的新創(chuàng)砷化鎵代工廠將具有用于移動(dòng)設(shè)備和物聯(lián)網(wǎng)的尖端芯片的制造能力。Ferrotec 的 Temescal UEFC 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)是生產(chǎn)化合物半導(dǎo)體芯片的強(qiáng)大設(shè)備。我們特有的 Auratus 薄膜沉積工藝優(yōu)化方法可提供無與倫比的產(chǎn)品質(zhì)量和運(yùn)行效率 ” Gregg Wallace (Ferrotec Temescal的董事總經(jīng)理)說 。 “我們期待著杭州立昂東芯微電子的事業(yè)強(qiáng)勁增長，這款設(shè)備將會(huì)特別適合他們不斷擴(kuò)張的砷化鎵晶圓代工業(yè)務(wù)。”

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　　在中國，F(xiàn)errotec 的 Temescal 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)是由本土公司 MPS（創(chuàng)世杰科技）代理。 MPS 具有豐富的服務(wù)及支持 Temescal 產(chǎn)品的現(xiàn)場經(jīng)驗(yàn)。有關(guān) Ferrotec 的 Temescal 系統(tǒng)產(chǎn)品的更多信息，請?jiān)L問 www.temescal.net 。