| 基于感應(yīng)耦合比率臂的高精度位移測(cè)量系統(tǒng) | |
| 所屬分類：技術(shù)論文 | |
| 上傳者：aet | |
| 文檔大小：224 K | |
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| 文檔介紹：討論了比率測(cè)量方法的優(yōu)點(diǎn)，介紹了運(yùn)用感應(yīng)耦合比率臂和差動(dòng)式電容位移傳感器設(shè)計(jì)的高精度微小位移測(cè)量系統(tǒng)。給出了一種實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)例子和主要的測(cè)試結(jié)果，說明了該設(shè)計(jì)在小位移測(cè)量中的有效性。 | |
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