自動跟蹤工頻陷波器的研究與設計
所屬分類:技術論文
上傳者:serena
標簽: 工頻陷波器 電子束曝光機
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文檔介紹: 介紹了一種新型線性自動跟蹤工頻陷波器的電路結構。該陷波器應用于電子束曝光機束流測量電路中,用來抑制工頻干擾對測量精度的影響。基于對自動跟蹤陷波器的基本工作原理分析,陷波器采用了頻率/電壓轉換器與壓控帶阻濾波器相結合的設計方案,成功地解決了工頻頻偏對常規工頻陷波器濾波性能的嚴重影響問題。提出了提高抑制工頻干擾能力的設計要點和電路調試方法。通過性能指標的測試和長期實際運行應用,證明陷波器滿足了電子束測量中對工頻干擾進行強抑制的要求,提高了電子束曝光機的制版質量。
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