0　引言

GaAs光電陰極是一種負電子親和勢光電陰極，具有量子效率高、發(fā)射電子能量和角度分布集中的優(yōu)點，因而在微光像增強器、半導體敏感器件、自旋極化電子源等眾多領域得到了廣泛的應用[1]，但GaAs光電陰極的制備過程卻極為復雜，對制備工藝和條件都有嚴格要求。目前GaAs光電陰極的制備都主要依賴熟練操作人員進行手工操作，這種操作方式不盡浪費大量人力物力，而且制備質(zhì)量和效率得不到保證。而在制備過程中普遍采用的在線光譜響應" title="光譜響應">光譜響應測試儀[2]，只能用于陰極制備后的光譜響應曲線測試，評估陰極的制備質(zhì)量，它對陰極制備過程中的許多其它信息量，如真空度、銫源和氧源電流等，都沒有實時采集功能，更沒有對銫（氧）源電流的計算機控制和制備過程的自動化，從而大大的制約了我國GaAs光電陰極制備工藝的理論研究、制備質(zhì)量和效率的提高。本文利用CAN總線可靠性高、成本低、配置靈活和傳輸速度快等優(yōu)點[3～5]，設計了一套基于CAN總線的GaAs光電陰極制備測控系統(tǒng)" title="測控系統(tǒng)">測控系統(tǒng) >測控系統(tǒng)，可實現(xiàn)上述信息的實時測試和銫（氧）源電流的自動控制。

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1　測控系統(tǒng)組成

根據(jù)GaAs光電陰極制備工藝的要求，我們設計了如圖1所示的GaAs光電陰極制備測控系統(tǒng)原理框圖。該測控系統(tǒng)由三大部分構(gòu)成：超高真空激活系統(tǒng)、計算機和外圍測控設備，其中超高真空激活系統(tǒng)是用于GaAs光電陰極制備（加熱凈化和銫氧激活）的，制備過程中的多種信息量可通過外圍測控設備與計算機相連。測控設備共分兩部分，一部分完成光電流、光譜響應曲線的測試，另一部分完成真空度的測試以及銫（氧）源電流信號的測試和控制。

第一部分相當于一個光譜響應測試儀，光譜響應曲線測試時，先由計算機控制光柵單色儀輸出一定波長的單色光并照射到陰極面，陰極產(chǎn)生微弱的光電流，光電流放大后經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，計算機將該信號和對應的單色光輻射功率進行數(shù)據(jù)處理，就得到陰極的光譜響應曲線[2]。這一部分中沒有用到 CAN總線，本文中將不作介紹，重點介紹的是第二部分。在第二部分中，真空度、銫（氧）源電流信號是通過CAN總線實現(xiàn)測控的，測控信號通過USB- CAN轉(zhuǎn)換器與計算機相連。這部分的設計，結(jié)合了CAN與USB總線的優(yōu)點，從而能實現(xiàn)更靈活的通信任務和更強大的信號測控功能。

　　圖1 GaAs光電陰極制備測控系統(tǒng)原理框圖

2　測控系統(tǒng)硬件設計

2.1? USB-CAN轉(zhuǎn)換器硬件設計

USB-CAN轉(zhuǎn)換器實現(xiàn)USB與CAN兩種總線之間的協(xié)議轉(zhuǎn)換，如圖2所示為其結(jié)構(gòu)框圖。圖中微控制器" title="微控制器">微控制器89C52負責轉(zhuǎn)換器的監(jiān)控任務以及 CAN與USB總線的通信任務。CAN控制器接口電路采用SJA1000和82C250，USB控制器接口電路采用USB通用設備接口芯片CH372。在微控制器中，USB與CAN總線報文的接收均采用中斷方式，這種方式能盡量減少時延，提高系統(tǒng)實時通信能力。

2.2? 多信息量測控設備硬件設計

原有系統(tǒng)的真空計和模擬電源等設備都是獨立工作的，不具有和計算機通信的能力。為了實現(xiàn)真空度和銫（氧）源電流信息的測控，同時也為了節(jié)省成本，本文采用的方案是在原有設備上增加一個多信息量測控模塊，使之具有數(shù)字化測控和通信功能。多信息量測控模塊的任務是將設備顯示的信號取出并傳輸給計算機或?qū)⒂嬎銠C發(fā)來的控制命令傳輸給設備，所以實際上測控模塊電路由兩部分構(gòu)成，一部分完成真空度、銫（氧）源電流信息的測試，另一部分實現(xiàn)銫（氧）源電流大小和通斷的控制。

在真空度、銫（氧）源電流信息的測試方面，為了保持采集數(shù)據(jù)與設備顯示數(shù)據(jù)的一致性，采用的方法是將設備數(shù)碼管上顯示的信息直接取出。真空計和模擬電源的顯示均由3位數(shù)碼管構(gòu)成，所以兩者可以采用相同的測試電路。如圖3所示為多信息量測試模塊結(jié)構(gòu)框圖，圖中真空計或電源的3位數(shù)碼管分別與一片雙四選一的電子開關(guān)CD4052相連，微控制器從鎖存器輸出地址選通信號，控制CD4052依次輸出數(shù)碼管8段顯示信息中的2段，連接到比較器LM358 上，經(jīng)比較轉(zhuǎn)換為標準的邏輯電平后輸出給微控制器，最后微控制器將3個數(shù)碼管的信號組合在一起，得到真空計或電源上顯示的數(shù)據(jù)。在這里采用比較器的主要優(yōu)點是可以根據(jù)不同數(shù)碼管的驅(qū)動電平靈活的調(diào)整比較電壓，而且輸出邏輯電平穩(wěn)定，從而使測試電路具有更好的適用性。采集到顯示信息后，可在微控制器控制下，通過CAN總線傳輸給計算機。

　　圖2　USB－CAN轉(zhuǎn)換器結(jié)構(gòu)框圖　　　
　　 　　　　

　　圖3　多信息量測試模塊結(jié)構(gòu)框圖

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在原有的系統(tǒng)中，銫（氧）源電流大小的控制是通過手動調(diào)節(jié)電源的模擬電位器" title="電位器">電位器來實現(xiàn)，而為了實現(xiàn)計算機對電流大小的數(shù)字化控制，最直接的辦法就是用數(shù)字電位器取代電源的模擬電位器，按此方案設計的電流控制模塊結(jié)構(gòu)框圖如圖4所示。電源有一個10K的粗調(diào)電位器和一個1K的細調(diào)電位器，分別用10K和 1K數(shù)字電位器X9C103、X9C102取代，圖4中兩個數(shù)字電位器是串聯(lián)在一起的，這種接法可使電流控制精度更高，而實際控制精度超過了模擬電源的三位顯示精度，這完全能滿足系統(tǒng)對電流控制精度的要求。數(shù)字電位器或模擬電位器的選擇可由微控制器輸出控制信號，經(jīng)過驅(qū)動后控制雙刀雙擲繼電器來確定。微控制器也可以輸出控制信號來控制繼電器接通或斷開模擬電源的外接220V供電電源，從而實現(xiàn)銫（氧）源電流的通斷，同時由于控制的是220V交流電源，在微控制器和驅(qū)動器之間必須進行光電隔離。計算機可通過上述方式來實現(xiàn)陰極制備過程中的自動銫氧交替。

　圖4　銫（氧）源電流控制模塊結(jié)構(gòu)框圖

3 測控系統(tǒng)軟件設計

3.1? USB-CAN轉(zhuǎn)換器軟件設計

USB與CAN總線轉(zhuǎn)換器軟件主要進行USB與CAN總線的協(xié)議轉(zhuǎn)換，在測控設備與計算機之間實現(xiàn)通信，其軟件設計" title="軟件設計">軟件設計主要包括CAN和USB接口芯片的初始化以及CAN與USB 報文的發(fā)送和接收。USB與CAN總線控制器芯片分別采用CH372和SJA1000，CH372有內(nèi)置固件模式，使用非常方便。USB與CAN總線報文的接收均采用中斷方式來實現(xiàn)，這種方法能保證最快的響應速度，提高通信效率。接收到的USB報文可通過CAN總線直接發(fā)送給測控設備，而接收到的CAN報文則通過兩步來發(fā)送給計算機，先通過USB中斷傳輸觸發(fā)計算機的中斷服務程序，后通過批量傳輸將CAN報文發(fā)送給計算機，這種方式可實時觸發(fā)計算機進行采集數(shù)據(jù)的處理，提高計算機的響應速度。

3.2? 多信息量測控軟件設計

多信息量測控軟件分測試軟件和控制軟件。測試軟件的功能是將設備數(shù)碼管上顯示的數(shù)據(jù)取出，經(jīng)組合和譯碼后轉(zhuǎn)換為被測信息量。測試軟件設計的關(guān)鍵在于控制CD4052依次選通各個數(shù)碼管分多次輸出顯示信息，然后將這些信息組合在一起，然后通過查找筆型碼表就可以得到設備顯示的真空度或電流大小。控制軟件的功能是通過數(shù)字電位器和繼電器實現(xiàn)銫（氧）源電流大小和通斷的控制，其中控制軟件設計的重點是電流大小的控制。由于電源輸出電流與電位器的阻值不一定呈線性關(guān)系，而且不同電源的情況也不盡相同，所以控制算法應有一定的適應性。借鑒人工調(diào)節(jié)電流時的經(jīng)驗，控制軟件中采用的是兩步調(diào)節(jié)算法，先“粗調(diào)” 后“細調(diào)”。兩步調(diào)節(jié)法先計算電流設定值和當前值的差值，若相差較大，則進行“粗調(diào)”（調(diào)節(jié)X9C103）。若差值已經(jīng)落到X9C102的調(diào)節(jié)范圍內(nèi)時，則進行“細調(diào)”（調(diào)節(jié)X9C102），細調(diào)時用“拆半”調(diào)節(jié)法（與拆半查找法類似）使電流快速接近并達到設定值。采用上述的兩步調(diào)節(jié)算法能保證輸出電流的調(diào)節(jié)時間短，控制精度高。

3.3? 計算機軟件設計

計算機部分軟件共由三大模塊組成，包括多信息量測控模塊、信息顯示模塊和性能參數(shù)計算模塊，其中多信息量測控模塊包括光電流的A/D采集、真空度的采集、銫（氧）源電流的采集與控制。光電流由計算機控制定時進行采集，真空度和銫（氧）源電流的采集則不同，它由真空計或電源在其顯示信息變化時主動向計算機發(fā)送，計算機接收后更新顯示或進行數(shù)據(jù)處理。為了能保證計算機及時接收到設備發(fā)來的信息，我們在軟件中采用了偽中斷和多線程技術(shù)。偽中斷服務程序是由CH372驅(qū)動程序中斷后通過動態(tài)鏈接庫（DLL）在應用層模擬調(diào)用的，能及時響應USB中斷傳輸，多線程則能實現(xiàn)多個任務的并行處理，提高響應速度和處理效率。性能參數(shù)計算模塊主要對測試結(jié)果進行分析處理，得到想要的各種制備工藝或陰極的性能參數(shù)。

4? 結(jié)束語

CAN總線在GaAs光電陰極制備測控系統(tǒng)中的應用成功的解決了系統(tǒng)測控信息量多，對可靠性和實時性要求高的難題，該測控系統(tǒng)的研制成功將有利于對GaAs光電陰極制備工藝進行深入的理論研究，促進提高GaAs光電陰極的制備水平，該系統(tǒng)具有良好的應用前景和推廣價值。

參考文獻

[1] 杜曉晴，常本康，宗志園. GaAs光電陰極p型摻雜濃度的理論優(yōu)化. 真空科學與技術(shù), 2004, 24(3)：195-198

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