半導(dǎo)體設(shè)備受益國產(chǎn)替代，近幾年正迎來快速成長期，一方面源自中國大陸晶圓廠的快速擴(kuò)產(chǎn)和份額增長，蛋糕正在變大。另一方面成長源自設(shè)備廠商的國產(chǎn)替代，設(shè)備國產(chǎn)化率有望迅速提升。

　　體現(xiàn)到微觀層面上，短期本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)已經(jīng)進(jìn)入業(yè)績兌現(xiàn)期：中微公司和北方華創(chuàng)率先發(fā)布中報(bào)業(yè)績預(yù)告，均超出市場預(yù)期，股價(jià)大漲。未來晶圓產(chǎn)能東移&國產(chǎn)替代邏輯長期存在，行業(yè)需求景氣度有望長期延續(xù)。

　　 一、行業(yè)格局仍是歐美主導(dǎo)

　　2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模首破千億美元，中國大陸占約29%，達(dá)到全球第一，下游擴(kuò)產(chǎn)持續(xù)拉動(dòng)設(shè)備需求。

　　數(shù)據(jù)來源：中信證券

　　從行業(yè)格局來看，美日歐廠商在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域具備傳統(tǒng)優(yōu)勢，占據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備全球前15名席位。據(jù)測算，2021年中國大陸廠商營收體量在全球市場占比僅約2.5%。

　　數(shù)據(jù)來源：中信證券

　　二、設(shè)備各領(lǐng)域國產(chǎn)化率如何？

　　中信證券基于三座晶圓廠招投標(biāo)數(shù)據(jù)，對2016-2022年累計(jì)采購設(shè)備的各細(xì)分市場格局進(jìn)行了梳理，部分領(lǐng)域國產(chǎn)化率可達(dá)到20%以上，部分國產(chǎn)化率尚低。

　　（1）去膠：國產(chǎn)化率約74%(測算，下同)，屹唐股份、盛美上海等位于國內(nèi)前列；

　?。?）清洗設(shè)備：國產(chǎn)化率約38%，盛美上海設(shè)備中標(biāo)數(shù)量僅次于日本迪恩士，至純科技、北方華創(chuàng)、芯源微等亦為國產(chǎn)替代主力，各家產(chǎn)品類型有所區(qū)別；

　　（3）氧化擴(kuò)散/熱處理設(shè)備：國產(chǎn)化率約28%，北方華創(chuàng)、屹唐股份、盛美上海中標(biāo)設(shè)備數(shù)量靠前；

　　（4）刻蝕設(shè)備：國產(chǎn)化率約22%，中微公司、北方華創(chuàng)、屹唐股份分列國內(nèi)前三；

　　（5）化學(xué)機(jī)械拋光：國產(chǎn)化率約23%，華海清科為國內(nèi)細(xì)分龍頭；

　　（6）薄膜沉積：國產(chǎn)化率約5.7%，拓荊科技、北方華創(chuàng)、盛美上海中標(biāo)設(shè)備數(shù)量靠前；

　　（7）過程控制：國產(chǎn)化率約3.6%，中科飛測、精測半導(dǎo)體、睿勵(lì)科學(xué)儀器國內(nèi)領(lǐng)先；

　?。?）離子注入：國產(chǎn)化率約3.1%，爍科中科信是為數(shù)不多獲得采購的國產(chǎn)廠商，凱世通半導(dǎo)體亦為國產(chǎn)化主力；

　　（9）光刻機(jī)：國產(chǎn)化率約1.1%，基本由荷蘭廠商阿斯麥壟斷，國內(nèi)上海微電子實(shí)現(xiàn)零突破；

　　（10）涂膠顯影：國產(chǎn)化率約1%，日本東京電子領(lǐng)先，國內(nèi)芯源微實(shí)現(xiàn)零突破。

　　總體而言，國內(nèi)設(shè)備廠商在設(shè)備品類、工藝覆蓋率方面仍存在較大提升空間，美國制裁中國廠商事件已經(jīng)激發(fā)國內(nèi)廠商的供應(yīng)鏈安全意識，國內(nèi)晶圓廠有望加快供應(yīng)鏈本土化，我們預(yù)計(jì)國產(chǎn)設(shè)備廠商接下來1~2年有望受益國產(chǎn)設(shè)備份額的階躍式提升。

　    三、相關(guān)標(biāo)的

　　中信證券認(rèn)為，產(chǎn)能擴(kuò)張+國產(chǎn)替代積極推進(jìn)，看好未來1~2年半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展。建議優(yōu)先選擇賽道空間大、產(chǎn)品布局全面、技術(shù)實(shí)力較強(qiáng)的龍頭設(shè)備廠商，以及份額尚低、受益國產(chǎn)替代有望快速成長的細(xì)分賽道成長型企業(yè)。

　　（1）晶圓廠工藝設(shè)備：北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海，建議關(guān)注屹唐股份、拓荊科技、華海清科、芯源微、至純科技、精測電子等。

　?。?）測試設(shè)備/封裝設(shè)備：華峰測控，建議關(guān)注長川科技、光力科技等。

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