本文來(lái)自方正證券研究所2022年2月22日發(fā)布的報(bào)告《盛美上海：前后道電鍍、槽式清洗設(shè)備獲批量訂單》，欲了解具體內(nèi)容，請(qǐng)閱讀報(bào)告原文，陳杭S1220519110008

9500頁(yè)·研究框架·系列鏈接

CPU l 面板 l RF l CMOS l FPGA l 光刻機(jī) l EDA

封測(cè) l OLED l LCD l 設(shè)備 l 材料 l IP l 功率 l SiCGaN l 第三代 l 汽車半導(dǎo)體 l 濾波器 l 模擬 l 射頻 基帶 l 大硅片 l PA l MOSFET l 光刻膠 l RISC－VIGBT l NOR l Mini－LED l 代工 l 偏光片 l ODM華為 l 特斯拉 l 小米 l 刻蝕機(jī) l MLCC l 電源管理 高通 l 被動(dòng)元器件 l CREE l 三星 l MCU l 臺(tái)積電DRAM l AIoT l MLCC l 儲(chǔ)能 l 鈉離子 l 電子氣體激光雷達(dá) l SoC l 京東方 l 三安光電 l 北方華創(chuàng) 光刻膠2．0 ／ 碳化硅2．0 ／ 八大半導(dǎo)體材料

事件：2月15日，盛美上海接到29臺(tái)Ultra C Wb槽式濕法清洗設(shè)備的批量訂單；2月18日，宣布獲得了13臺(tái)Ultra ECP map前道銅互連電鍍?cè)O(shè)備及8臺(tái) Ultra ECP ap后道先進(jìn)封裝電鍍?cè)O(shè)備采購(gòu)訂單。

加速平臺(tái)型企業(yè)布局。公司從較早時(shí)期就開(kāi)始考慮平臺(tái)化戰(zhàn)略，2020 年公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入10億元，同比增長(zhǎng)33％，其中清洗占81％，先進(jìn)封裝濕法占10％，電鍍以及立式爐占6％，此次獲批量電鍍及清洗訂單將進(jìn)一步加速公司平臺(tái)化布局。

槽式濕法清洗獲29臺(tái)批量采購(gòu)，清洗地位進(jìn)一步鞏固。公司于2月15日宣布其獲得29臺(tái)Ultra C wb槽式濕法清洗設(shè)備訂單，其中包含本土同一家代工客戶的16臺(tái)重復(fù)訂單，計(jì)劃從2022年分兩個(gè)階段發(fā)貨。該設(shè)備有效利用化學(xué)藥液和去離子水（DIW）， 對(duì)環(huán)境友好且憑借其精巧的模塊化設(shè)計(jì)，占用空間小的優(yōu)點(diǎn)，可以在生產(chǎn)車間靈活配置。受益下游晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)及國(guó)產(chǎn)替代，公司清洗設(shè)備將實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步放量。

前道電鍍?cè)O(shè)備打破美商壟斷，加速推動(dòng)國(guó)產(chǎn)替代。目前全球前道晶圓制造的電鍍?cè)O(shè)備主要被泛林壟斷；后道先進(jìn)封裝電鍍則主要被應(yīng)用材料和泛林兩家設(shè)備供應(yīng)商壟斷。盛美上海此次獲得大批量前后道電鍍?cè)O(shè)備訂單，打破了電鍍?cè)O(shè)備被美商高度壟斷的市場(chǎng)格局，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)化替代。

Ultra ECP map前道電鍍?cè)O(shè)備可滿足先進(jìn)節(jié)點(diǎn)大馬士革電鍍需求。Ultra ECP map前道銅互連電鍍?cè)O(shè)備建立在公司成熟的ECP技術(shù)基礎(chǔ)之上，該設(shè)備專為雙大馬士革應(yīng)用而設(shè)計(jì)。ECP電鍍系統(tǒng)配置了盛美上海獨(dú)有的多陽(yáng)極局部電鍍功能，讓客戶可對(duì)大馬士革結(jié)構(gòu)上的金屬銅沉積層進(jìn)行有效控制。該設(shè)備的關(guān)鍵工藝優(yōu)點(diǎn)包括優(yōu)異的圖形結(jié)構(gòu)填充能力、良好的片內(nèi)及片間金屬膜厚均勻性，能夠兼容 5nm 以下的超薄籽晶層，滿足先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的大馬士革電鍍需求，同時(shí)降低耗材及擁有成本，確保高產(chǎn)能和正常運(yùn)行時(shí)間。

盈利預(yù)測(cè)：預(yù)計(jì)公司2021－2023年?duì)I收15．8／26．8／40．9 億元，歸母凈利潤(rùn) 2．9／5．0／7．0 億元，維持“推薦”評(píng)級(jí)。

風(fēng)險(xiǎn)提示：（1） 技術(shù)研發(fā)不及預(yù)期；（2） 市場(chǎng)拓展進(jìn)度不及預(yù)期；（3） 疫情持續(xù)導(dǎo)致的供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)。