紫外飛秒激光主要有兩種產生方式：一種是在固體介質中，通過將紅外激光或者近紅外光經過非線性倍頻晶體的方式一次或多次進行頻率轉換后實現紫外激光的輸出，另一種是利用紅外激光在氣體介質中成絲產生等離子通道實現。

　　研究表明，利用稀有氣體中的諧波產生來實現近紅外激光脈沖的非線性頻率轉換是一種有效的產生紫外激光的方法，并且可以將超短脈沖產生技術擴展到深紫外波段，不需要控制紫外光的色散。

　　采用固體介質時因受到傳輸波長的限制，輸出波長多在200nm以上。

　　相較于固體介質，氣體介質在紫外波段的透過范圍更寬，且擁有更小的色散系數，因此氣體介質是產生紫外脈沖的一種較理想的介質。

　　雖然利用氣體介質的非線性效應可以產生波長更短的紫外光脈沖，但其轉換效率要低于固體介質。