IT之家 7 月 21 日消息 據晶盛機電發布，7 月 20 日，晶盛機電晶體實驗室自主研發的國內首臺 12 英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長出首顆 12 英寸硅單晶。
這是繼 2020 年 8 月國內首臺 8 英寸硬軸直拉爐生長出 8 英寸硅單晶之后，又一次在半導體級硅單晶生長裝備上取得的重要技術進展，為國內大硅片行業技術升級提供了裝備保障。
官方介紹，研發團隊在鞏固原有技術的基礎上，解決了硬軸單晶爐高真空、高精度及傳動過程震動消除等諸多技術難題，實現了高穩定性晶體生長環境，為 12 英寸硅單晶體內微缺陷控制和徑向均勻性提高提供了技術支撐。
晶盛機電稱，依托兩項國家科技重大 02 專項課題（“300mm 硅單晶直拉生長裝備的開發”和“8 英寸區熔硅單晶爐國產設備研制”），專注于半導體硅單晶生長裝備研發，相繼開發出定拉速控徑、液位控制、定放肩、超導磁場拉晶等多項國際領先技術。
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