3月8日，上海新陽發(fā)布公告披露其購買光刻機(jī)設(shè)備進(jìn)展情況。

　　公告顯示，公司自立項開發(fā)193nmArF干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目以來，安排購買了ASML-1400光刻機(jī)等核心設(shè)備，并于2020年12月14日在《關(guān)于公司申請向特定對象發(fā)行股票的審核問詢函的回復(fù)》中披露，該光刻機(jī)將于2020年底前運抵國內(nèi)。

　　后由于公司與光刻機(jī)供應(yīng)商、北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司（以下簡稱“合作方”）溝通協(xié)調(diào)設(shè)備運輸與安裝等細(xì)節(jié)，致使設(shè)備沒能在規(guī)定時間內(nèi)運達(dá)，但與合作方就具體合作細(xì)節(jié)簽署了《合作框架協(xié)議》，預(yù)計該光刻機(jī)將于2021年3月底前進(jìn)入合作方現(xiàn)場。

　　現(xiàn)經(jīng)各方積極協(xié)商、運作，該光刻機(jī)設(shè)備于今日（3月8日）已進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司場地，后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。

　　上海新陽表示，公司采購的ASML干法光刻機(jī)設(shè)備順利交付，對加快193nmArF干法光刻膠產(chǎn)品開發(fā)進(jìn)度有積極影響，有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭 力，加快落實公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風(fēng)險能力和可持續(xù)發(fā)展能力。