7 月 17 日訊，半導體真空泵是半導體各制程中必備的通用設備，應用于單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。據悉，國內領先的螺桿壓縮機與真空泵設備供應商漢鐘精機公司半導體真空設備目前在中芯國際已處于測試驗證階段，具體進度取決于中芯國際的安排。

　　此前，漢鐘精機在回答投資者提問時表示，公司真空泵主要用于半導體、光伏、鋰電池等行業，目前在半導體行業主要為進口品牌，國產品牌占比很小，在光伏行業特別是單晶拉晶環節，公司占比較高，鋰電市場公司占比同樣較高。

　　目前，在中國臺灣已有臺積電、力積電、日月光、力成等半導體公司使用漢鐘精機真空泵，在中國大陸市場，該公司已成功通過國內多家大型半導體企業的驗證。

　　據了解，漢鐘精機公司專注于螺桿式壓縮機相應技術的研制開發、生產銷售及售后服務，成就國內壓縮機領軍企業。公司于 1998 年由臺灣漢鐘全資子公司海爾梅斯公司獨資成立，于 2007 年 8 月 17 日在深圳證券交易所上市。

　　自成立以來，公司專門從事螺桿式壓縮機相應技術的研制開發、生產銷售及售后服務，經過多年的發展，已成為集壓縮機的設計研發、生產制造、品質保證、銷售服務各系統于一體的，在中國大陸頗有實力的壓縮機生產廠家，在螺桿式壓縮機領域擁有雄厚的技術實力。公司將螺桿式壓縮技術應用于不同的工作工質，如空氣、真空、制冷劑、特殊氣體等，成為全球應用工質最多的螺桿式壓縮機生產企業之一。

　　公司注重技術研發投入，經歷多年發展和積累，在螺桿、渦旋、離心等壓縮機領域已擁有自己雄厚的技術實力。公司通過高溫熱泵、ORC、閃蒸系統、電能管理系統、永磁無刷變頻、離心式等節能環保產品，為市場提供更全面服務。不斷加強研發投入和技術創新，取得了行業內領先的技術研發優勢。在 2019 年前三季度公司的研發投入費用為 85.96 百萬元，占營業收入的 6.84%，同比增長 1.18%。截至 2019 年上半年，公司已擁有 63 項專利，其中發明專利 6 項、實用新型專利 46 項、外觀設計專利 11 項。