隨著先進半導體制程的尺寸不斷微縮，相關設備的價格也變得越來越高昂，各大晶圓廠紛紛加碼資本支出。

臺積電、英特爾和三星為打造體積更小、效能更強的處理器，紛紛導入極紫外光（EUV）技術，相關設備極其昂貴，3 家大廠資本支出直線攀升，ASML 等設備廠則成為受益者。

華爾街日報報導，晶圓代工大廠以最新制程挑戰(zhàn)物理極限，需要 EUV 微影技術當幫手。與常用光源相比，采用 EUV 的系統(tǒng)能讓芯片電路更加微縮，但先進晶圓廠建造成本也跟著水漲船高，臺積電兩年前宣布的新廠建造費用達 200 億美元。

關鍵在于 EUV 光刻設備價格高昂。ASML 公布，第 3 季光售出 7 套 EUV 系統(tǒng)就進帳 7．43 億歐元，等于每套系統(tǒng)要價超過 1 億歐元（約新臺幣 33．68 億元）。這還不含半導體制程控管與測試設備成本。

臺積電深耕晶圓代工先進制程，10 月表示強效版 7nm 制程導入 EUV 技術，今年第 2 季開始量產，良率已相當接近 7nm 制程；6nm 制程預計明年第 1 季試產，并于明年底前進入量產。

與此同時，晶圓代工龍頭廠商資本支出大增成為趨勢。

臺積電 10 月宣布今年資本支出達 140 億至 150 億美元，高于原先設定目標近 40％。英特爾（Intel）隨后宣布加碼 3％，今年資本支出目標達 160 億美元，創(chuàng)公司成立以來新高，比兩年前高出 36％。三星（Samsung）上周宣布，今年半導體事業(yè)資本支出約 200 億美元。

三星公布的金額略少于去年，但業(yè)界分析師預期，三星今年大幅減少投資存儲器生產，以便將更多資源投入次世代晶圓代工廠。

在 EUV 技術帶動下，半導體設備廠獲益良多。ASML 第 3 季接獲 23 套 EUV 系統(tǒng)訂單，創(chuàng)單季訂單金額新高；半導體制程控管設備制造商科磊（KLA－Tencor）上周公布，會計年度第 1 季營收年增率達 29 ％，并表示 EUV 投資是業(yè)績成長主要動能。

今年以來，ASML 與科磊股價漲幅分別達 76％、94％。報導指出，明年 EUV 需求預料更加旺盛，半導體設備廠前景一片光明。