全球領(lǐng)先的化工公司巴斯夫宣布，其位于浙江嘉興的新建電子級(jí)硫酸裝置正式投入運(yùn)營(yíng)，將主要服務(wù)于國(guó)內(nèi)日益增長(zhǎng)的半導(dǎo)體制造行業(yè)。據(jù)悉，巴斯夫嘉興工廠一期可生產(chǎn)12000噸電子級(jí)硫酸，今年年底投產(chǎn)的二期項(xiàng)目將使產(chǎn)能翻番。
據(jù)介紹，在制程小于10納米時(shí)晶圓制造過(guò)程中需要經(jīng)過(guò)數(shù)百道清洗工序，巴斯夫嘉興工廠生產(chǎn)的電子級(jí)硫酸主要滿足10mm~7nm制程，將主要用于此過(guò)程中半導(dǎo)體晶片的清潔。這一裝置擁有先進(jìn)的質(zhì)量分析設(shè)備和配有專用無(wú)塵室的分析實(shí)驗(yàn)室，旨在滿足中國(guó)電子行業(yè)客戶的未來(lái)需求。
巴斯夫電子材料業(yè)務(wù)部亞太區(qū)副總裁言甯璿博士表示：“嘉興的新電子級(jí)硫酸裝置是巴斯夫在中國(guó)電子材料市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng)與拓展的又一重要舉措。中國(guó)已成為全球最大電子材料市場(chǎng)之一，而且還在不斷成長(zhǎng)，我們很高興能夠參與這一增長(zhǎng)勢(shì)頭。我們將更貼近客戶，為他們提供更迅捷、更高效的化學(xué)解決方案、更可靠的供應(yīng)和更穩(wěn)定的品質(zhì)?！?/p>
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