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上海首創“超越摩爾”8英寸中試線

2017-10-24

一個產品,從實驗室到工廠,最難走的一段路是中試。因高成本低產出甚至無產出,對許多實驗室里的前沿技術來說,中試期猶如一條看不見亮光的黑暗通道,無緣靠利潤和市場來維持。記者昨天來到位于嘉定工業區北區的我國首條“超越摩爾”中試線,探訪這家立志突破我國半導體產業“中試盲區”的研發創新平臺。

超潔凈的“懸空”廠房

穿上抗靜電的潔凈服、鞋子、手套、口罩后,經過風淋房將身上的微塵全部吹走……每天,上海微技術工業研究院MEMS技術工程總監徐元俊和他的同事們,都把自己裝扮成超潔凈的“白企鵝”,才能進入8英寸“超越摩爾”研發中試線,近5000平方米的十級潔凈室,要求一分鐘內每立方英尺空間內,大于0.2微米的微塵少于10顆!超級潔凈室共有4個區域,分別為光刻區、薄膜區、刻蝕區和擴散區。硅片在“淬煉”成晶圓成品的100至200道工序中,不可沾染微塵,否則可能前功盡棄。

為此,整座廠房的設計費盡思量——層高8.8米的二樓分為3層,整個“中試線”的主要設備似乎“懸空”在中間層——看不見的上下兩層,除鋪設供應氣體和化學品的管道外,還布滿了用于“清洗”空氣的設施。

“8英寸”產線國際領先

這樣的精益求精,只為我國在“超越摩爾”領域真正有所作為。上海微技術工業研究院8英寸研發中試線廠長、運營副總裁游家杰指著閃閃發光的硅片,如數家珍:“一片8英寸晶圓直徑達20厘米,分布著幾百顆到數萬顆不等的元器件。”要知道,在“超越摩爾”領域,業界還普遍使用6英寸產線,上海中試線卻亮出了國際領先卻少人問津的“8英寸”。

這條全新的試驗線上,每一位“超越摩爾”人心中都有一個信念:喜慶十九大,我國的科學創新必須從“跟跑”到“領跑”,前沿技術的中試環節要敢為人先!

縱觀我國超越摩爾領域現狀,經歷多年的理論研究與技術驗證,但實際應用與生產平臺嚴重脫節。這源于微機電系統產品研發涉及的技術鏈條較長,其“非標”特性使得研發創新和生產之間匹配度不高,需要漫長的磨合期。

貫通研發到測試“閉環”

上月,作為上海科創中心建設“四梁八柱”中的重要節點之一,國內首條專注“超越摩爾”領域,面向微機電系統的8英寸中試線亮相,在國內半導體產業界引發了一場不小的“創新地震”——從前期研發到后期測試“閉環”有望被貫通。

一個月來,“超越摩爾”中試線上燈火通明,各崗位科技人員用實際行動迎接十九大的召開:為本月底即將完成的第一批產品溫度傳感器緊張忙碌著。一旦成功,這條月產量3000片晶圓的中試線,將為許多實驗室里尖端的傳感器技術,鋪設一條走向市場的“光輝之路”。

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