中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司的MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?自從兩年前正式發(fā)布以來，已得到LED領(lǐng)先廠商的廣泛認(rèn)可，性能表現(xiàn)符合客戶對MOCVD設(shè)備的高要求和高預(yù)期。中微的MOCVD設(shè)備目前還在客戶生產(chǎn)線上評估以作為大規(guī)模生產(chǎn)功率器件的關(guān)鍵設(shè)備。中微已和中國大陸和臺灣地區(qū)5家LED廠商展開合作，其中一家客戶已將中微的MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?用于大批量LED外延片生產(chǎn)，中微設(shè)備表現(xiàn)出了優(yōu)異的性能和較高的生產(chǎn)效率，同時(shí)生產(chǎn)成本也極具優(yōu)勢。其他幾家客戶正在驗(yàn)證該機(jī)臺用于加工2英寸和4英寸晶片。中微強(qiáng)勁的發(fā)展勢頭都進(jìn)一步加強(qiáng)了中微作為國內(nèi)MOCVD設(shè)備生產(chǎn)商的領(lǐng)先地位，同時(shí)也展現(xiàn)了Prismo D-Blue?較強(qiáng)的國際競爭力。
在即將于臺北南港展覽館舉辦的LED Taiwan 2015展會上（3月25日至3月28日），中微的MOCVD技術(shù)專家將與公眾分享中微的最新技術(shù)（中微展臺號：N0208）。
業(yè)界對Prismo D-Blue?日益增長的興趣反映了在行業(yè)經(jīng)歷了一段時(shí)間的低迷之后，設(shè)備市場已日漸回暖。中微在行業(yè)低迷期展開了頗有實(shí)效的產(chǎn)品定位策略，深化了與客戶之間的合作。據(jù)法國市場調(diào)研公司Yole Developpement預(yù)測*，這一輪LED前端設(shè)備投資熱潮將持續(xù)到2016年。中微欲借此機(jī)會拓展市場份額。Yole還預(yù)測，2015年LED前端設(shè)備市場將達(dá)到峰值 -- 5.8億美元，其中MOCVD占80%。這些產(chǎn)品主要采購地仍是中國大陸和臺灣，因?yàn)檫@些地區(qū)的LED廠商將轉(zhuǎn)向生產(chǎn)4英寸晶片，所以需要購買新的MOCVD設(shè)備。
中微資深副總裁、首席運(yùn)營官兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士說：“我們很高興和中國大陸和臺灣的客戶緊密合作，他們是LED芯片生產(chǎn)的核心。我們對Prismo D-Blue?充滿了信心，它能幫助我們的客戶既保證利潤率又獲得更高的生產(chǎn)效率。”
如需在LED Taiwan展會期間與中微MOCVD技術(shù)專家預(yù)約面談，請聯(lián)系中微市場部熊女士（ winniexiong@amecnsh.com ）。
關(guān)于中微 MOCVD 設(shè)備 Prismo D-Blue ?
中微MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結(jié)構(gòu)的大批量生產(chǎn)，這些超薄層結(jié)構(gòu)對于高亮度LED是必需的。中微的MOCVD設(shè)備不僅具有精準(zhǔn)的參數(shù)控制、全自動化處理和獨(dú)特的緊湊設(shè)計(jì)等優(yōu)點(diǎn)，而且擁有高良率、高產(chǎn)能和低成本投入的特性，是LED芯片制造過程中必不可少的新一代MOCVD設(shè)備。
中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備可容納多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔，每個(gè)反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制，這一創(chuàng)新設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)卓越的生產(chǎn)靈活性，也就是說，它可以以并行或者串行模式運(yùn)行，減少了交叉污染的可能性，保證了晶體的高質(zhì)量，這是先進(jìn)的LED器件所必需的。中微MOCVD設(shè)備在占地面積上也有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢，它比競爭者的單反應(yīng)腔機(jī)臺的占地面積小了近30%，因此，Prismo D-Blue?對于目前的LED生產(chǎn)線無疑是個(gè)絕佳選擇。
中微MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?可同時(shí)加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片，且工藝能力能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片。除了配置有可使工藝靈活性最大化的多反應(yīng)腔之外，Prismo D-Blue?在每個(gè)關(guān)鍵性能指標(biāo)上表現(xiàn)都十分出色。在整個(gè)外延晶片加工過程中，Prismo D-Blue?很少需要調(diào)整工藝參數(shù)，并能夠持續(xù)表現(xiàn)出很好的重復(fù)性和優(yōu)異的片內(nèi)和片與片之間的均勻性。外延晶片加工的過程對于反應(yīng)腔室表面的條件、化學(xué)氣體環(huán)境、溫度轉(zhuǎn)換控制和其他可變因素都極為敏感，因此在這種加工過程中，能達(dá)到持續(xù)的重復(fù)性確實(shí)有它獨(dú)到的一面。
極高的可靠性是Prismo D-Blue?的另一關(guān)鍵優(yōu)勢。中微通過對工藝參數(shù)現(xiàn)場實(shí)時(shí)的監(jiān)控實(shí)現(xiàn)了高可靠性。這種高可靠性得益于一系列復(fù)雜的軟件程序、先進(jìn)的傳輸模塊、流程自動化和控制技術(shù) -- 這同樣也是使得中微的半導(dǎo)體前端加工設(shè)備被業(yè)界廣為認(rèn)可的技術(shù)。
Prismo D-Blue?還被進(jìn)一步優(yōu)化以方便用戶更易操作與維護(hù)。這對于一個(gè)發(fā)展迅速并看重成本的LED芯片制造商來說是至關(guān)重要的。卓越的加工性能和正常可運(yùn)行時(shí)間可以拉大服務(wù)之間的差距，而新穎的設(shè)計(jì)特點(diǎn)則能夠使得設(shè)備維護(hù)更加簡便易行。同時(shí)，自動化、可編程的維護(hù)程序使得反應(yīng)腔開關(guān)操作更加安全、快捷、可預(yù)測并且不易出錯。
Prismo D-Blue?目前已擁有100多項(xiàng)專利（包括授權(quán)和未授權(quán)專利）以保護(hù)其獨(dú)特的創(chuàng)新性。此外，它還遵循了半導(dǎo)體制造規(guī)則并完全符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
Prismo D-Blue?是中微公司的注冊商標(biāo)。
*Yole Developpement于2014年4月發(fā)布的《LED前端設(shè)備市場報(bào)告》（《LED front-end equipment market report》）。
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中微公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先加工設(shè)備的工藝技術(shù)解決方案。中微通過創(chuàng)新驅(qū)動自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔刻蝕設(shè)備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產(chǎn)線上廣泛應(yīng)用于45納米到1X納米及更先進(jìn)的加工工藝和最先進(jìn)的封裝工藝。目前，正在亞洲地區(qū)30多條國際領(lǐng)先的生產(chǎn)線上運(yùn)行的中微刻蝕反應(yīng)臺已超過350個(gè)。中微開發(fā)的用于大批量LED外延片生產(chǎn)和功率器件生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備也已經(jīng)在國內(nèi)多條生產(chǎn)線上正常運(yùn)行。
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