MEMS及微機(jī)械加速度計(jì)可靠性研究
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：bixd
文檔大小：143 K
標(biāo)簽： 傳感器與數(shù)據(jù)采集
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文檔介紹：由于MEMS 器件的應(yīng)用日益頻繁, 其可靠性研究就顯得十分重要。介紹了引起可靠性問題的原因。 以微機(jī)械加速度計(jì)為例, 指出了該加速度計(jì)的可靠性問題, 以及對(duì)其可靠性測(cè)試研究的內(nèi)容。
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