《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 嵌入式技術 > 業界動態 > 應用材料公司推出新eHARP 系統為32納米及更小工藝節點提供已被生產驗證的STI空隙填充技術

應用材料公司推出新eHARP 系統為32納米及更小工藝節點提供已被生產驗證的STI空隙填充技術

2008-07-24
作者:應用材料公司
?

近日,應用材料公司推出Applied Producer eHARP 系統,為32納米及更小工藝節點上關鍵的STI(淺溝槽隔離)器件結構提供已被生產驗證的HARP SACVD空隙填充技術。eHARP工藝能夠提供無孔薄膜,用于填充小于30納米、長寬比大于12:1的空隙,從而滿足先進存儲器件和邏輯器件" title="邏輯器件">邏輯器件的關鍵制造要求。該系統擁有多項工藝創新專利,能提供強勁的高密度" title="高密度">高密度應力誘導薄膜,幫助推動傳統的平坦化和新興的3-D器件結構向更小的技術節點發展。?

?

應用材料公司" title="應用材料公司">應用材料公司副總裁兼電介質系統和化學機械研磨事業部總經理Bill McClintock表示:“在過去的14年中,應用材料公司作為業界的領先企業一直為客戶提供最先進的HDP-CVDSACVD空隙填充技術,滿足客戶最緊迫的工藝要求。Producer eHARP系統為客戶提供了32納米及更小技術節點上STI空隙填充的發展路徑,同時也不需要對現有的工藝流程進行過大的改動。客戶們對eHARP系統的能力感到非常興奮,其中一些重要的器件生產廠商還將eHARP選定為先進邏輯器件和存儲器件開發制造的參考系統。”?

?

Producer eHARP技術同非CVD空隙填充技術相比,能夠提供最低的每片晶圓成本。eHARP薄膜不含碳,不需要保護層或者覆蓋層,能方便地和傳統化學機械研磨工藝整合,并提供可靠強勁的器件隔離效果。此外,eHARP系統工藝中所使用的化學物品已經經過驗證,不會產生有害的液體副產品,因此也不需要特殊的化學處置。?

?

eHARP工藝基于應用材料公司聲譽卓著的Producer平臺,該平臺被業內每一家芯片制造廠商用于包括低k沉積、應力工程、光刻薄膜、PECVD*SACVD*等先進應用中。超過500Producer系統已經被運送到客戶處用于SACVD應用,進行升級后它們全部可以運行eHARP工藝。更多信息請訪問:http://appliedmaterials.com/products/eharp_4.html.?

?

應用材料公司是全球領先的納米制造技術" title="制造技術">制造技術廠商。公司廣泛的產品包括創新的設備、服務和軟件。它們被應用于半導體芯片、平板顯示器、太陽能電池、軟性電子產品和節能玻璃的制造。應用材料公司用納米制造技術改善人們的生活。欲了解更多應用材料公司的信息,請訪問公司網站www.appliedmaterials.comhttp://www.appliedmaterials.com?

?

*eHARP —— 加強型高長寬比工藝?

*SACVD —— 高長寬比工藝 次常壓化學氣相沉積" title="化學氣相沉積">化學氣相沉積?

*HDP-CVD —— 高密度等離子體化學氣相沉積?

*STI —— 淺溝槽隔離?

*PECVD —— 等離子加強型化學氣相沉積?

本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
主站蜘蛛池模板: 久久精品视频国产| 国产免费久久久久久无码| 中文字幕网站在线| 欧美成人免费全部观看天天性色 | 日韩精品卡二卡3卡四卡| 人人爽人人爽人人片a免费| 色综合综合在线| 国产男女猛烈无遮挡免费视频 | 引诱亲女乱小说录目伦| 久久精品中文騷妇女内射| 欧美成人鲁丝片在线观看| 免费a级毛片无码| 老头一天弄了校花4次| 国产成人精品A视频一区| 91在线你懂的| 女娃开嫩苞经历小说| 中文字幕日韩精品一区二区三区 | 国产乱子伦精品无码码专区| 青青青手机视频在线观看| 坐公交车弄了2个小时小视频| 中国老太大bbw| 日韩a一级欧美一级| 男女性潮高清免费网站| 嫩b人妻精品一区二区三区| 久久国产热视频| 欧美三级在线播放| 亚洲视频一区二区三区四区| 老司机亚洲精品影院在线| 国产成人一区二区动漫精品| 2021人人莫人人擦人人看| 天天拍拍夜夜出水| 中文字幕日韩视频| 日本高清在线中文字幕网| 亚洲人6666成人观看| 求网址你懂你的2022| 免费精品99久久国产综合精品| 色综合欧美在线视频区| 国产女人高潮抽搐喷水免费视频| 污片在线观看网站| 国内揄拍国内精品视频| www.99热|