《電子技術(shù)應(yīng)用》
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半導(dǎo)體制造關(guān)鍵原料面臨斷供,ASML急尋替代

2022-02-26
來源:21ic
關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 ASML 光刻機(jī)

近期烏克蘭局勢不穩(wěn)定,這也意外地加劇了全球半導(dǎo)體行業(yè)的緊張,因為該地區(qū)生產(chǎn)了全球70%的氖氣,這是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵原料,用量不多但非常重要,以致于光刻機(jī)巨頭ASML都要尋找備胎,防止斷供。

當(dāng)?shù)貢r間周三,ASML公司CEO表示該公司正在為工廠使用的少量氖氣尋找其他來源。

該公司發(fā)言人也表示,盡管烏克蘭是世界上最大的氖氣生產(chǎn)國,但阿斯麥?zhǔn)褂玫哪蕷庵兄挥胁坏?0%來自該國。

據(jù)了解,氖氣是惰性氣體中的一種,在半導(dǎo)體工藝中惰性氣體是一種重要材料,在DUV深紫外光光刻時代,產(chǎn)生DUV光源就需要多種惰性氣體,然后與鹵素分子混合,再使用電子束能量激發(fā)才能產(chǎn)生DUV波長的光,最后再用于芯片制造。

另外,來自EET-China的報道稱,中國特種氣體市場資深分析師任路則表示,雖然氖、氪、氙為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)所必需,但是其絕對使用量并不高,作為鋼鐵行業(yè)的副產(chǎn)品,全球市場體量不是很大。

“中國是全球鋼鐵大國,對于這些稀有氣體的純化技術(shù)已經(jīng)實現(xiàn)了突破,生產(chǎn)工藝也比較成熟,不再是能夠‘卡中國脖子’的技術(shù)了?!?/p>




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