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與ASML相比,國產(chǎn)光刻機(jī),達(dá)到了什么水平?

2021-12-12
來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
關(guān)鍵詞: ASML 光刻機(jī) 芯片

眾所周知,在芯片的制造過程中,光刻機(jī)是最重要且必不可少的一種設(shè)備,從成本來看,光刻機(jī)占所有芯片制造設(shè)備的22%左右。

成本高,占比重還在其次,最重要的是,全球能夠制造光刻機(jī)的廠商并不多,也就那么幾家,而用于10nm以下工藝的EUV光刻機(jī),全球只有ASML一家能造。

這問題就嚴(yán)重了,意味著所有想生產(chǎn)10nm以下芯片的廠商,必須找ASML買光刻機(jī),買不到的話,在當(dāng)前的技術(shù)條件下,就無法進(jìn)入到10nm,這才是問題的根本。

因為大家都懂的原因,我們是找ASML買不到EUV光刻機(jī)的,所以大家都明白,國產(chǎn)光刻機(jī)必須崛起,否則中國芯片產(chǎn)業(yè)無法崛起。

那么問題就來了,目前國內(nèi)的光刻機(jī)水平,究竟什么樣了,與ASML相比,究竟差距有多大?

先說說全球的光刻機(jī)格局,目前全球光刻機(jī)市場基本都由荷蘭ASML、日本尼康和佳能公司完全壟斷,而國內(nèi)的上海微電子產(chǎn)的光刻機(jī),市場占有率基本可以忽略,特別是在芯片制造光刻機(jī)這一塊,更多用于封測、光刻膠生產(chǎn)等領(lǐng)域。

2020年,這三大廠商出貨光刻機(jī)413臺,增長15%。ASML占258臺,比例為62.47%;尼康31臺,比例為7.51%;佳能公司122臺,比例29.54%。

而7nm及以下的EUV光刻機(jī),只有ASML能生產(chǎn)。尼康的水平是生產(chǎn)浸入式光刻機(jī),標(biāo)稱精度是28nm,經(jīng)多重曝光,一般最多也只用于14nm。

而佳能生產(chǎn)的光刻機(jī),標(biāo)稱精度是90nm,經(jīng)多重曝光,最多也只用到28nm左右,這就是這三大光刻機(jī)廠商的情況。

而國內(nèi)最牛的是上海微電子,已公開量產(chǎn)的光刻機(jī)標(biāo)稱精度是90nm,經(jīng)多重曝光,最多也只用到28nm,與佳能一致,但事實上沒人多重曝光這么來干,因為多重曝光會良率顯著降低,導(dǎo)致成本飆升。

但之前有媒體報道稱,上海微電子已經(jīng)在生產(chǎn)28nm的光刻機(jī),多重曝光光后生產(chǎn)7nm芯片,預(yù)計在2021-2022年交付,但沒具體的報道,所以不能亂說。

所以當(dāng)前國內(nèi)明面上的光刻機(jī)水平就是90nm,就算多重曝光,最多也就是28nm,考慮到ASML的DUV光刻機(jī)是不受限的, 估計沒誰買90nm的,來生產(chǎn)28nm。所以,差距真的是非常非常大。

事實上,EUV光刻機(jī)一共有10多萬個零件,而ASML有5000多供應(yīng)商,可見要生產(chǎn)一臺EUV光刻機(jī),真的不容易,但再難,這個關(guān)我們也必須沖過去。


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