《電子技術(shù)應(yīng)用》
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一文看懂SiC產(chǎn)業(yè)鏈

2020-12-09
來源:半導(dǎo)體行業(yè)觀察
關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 SiC

  SiC半導(dǎo)體領(lǐng)域最具成長力的材料,預(yù)計(jì)到2028年市場增長5倍。

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  來源:ST

  SiC目前有兩大應(yīng)用市場,一是電動車逆變器、充電樁、太陽能發(fā)電、直流電網(wǎng)中取代硅基IGBT,二是以SiC基板(Substrate,大陸多稱之為襯底,也有稱之為blankraw wafer,空白晶圓)承載GaN做5G基地臺的RF功率放大。

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  SiC和GaN都是市場備受矚目的第三代半導(dǎo)體材料,第一代是硅,第二代則是砷化鎵。第三代又稱寬帶隙半導(dǎo)體。其最主要應(yīng)用就是功率電子領(lǐng)域,功率半導(dǎo)體兩個(gè)最重要參數(shù),一個(gè)是電子的遷移速率即速度/電流,另一個(gè)是能隙,其決定了半導(dǎo)體的崩潰電場,即最高承受電壓。

  SiC和GaN能隙是硅的三倍多,崩潰電場是硅的近10倍。功率元件通常都做開關(guān)電源用,需要低導(dǎo)通電阻和大電流,大功率電力系統(tǒng)為提高轉(zhuǎn)換功率需要盡量提高電壓,而電壓=電場x距離。相同電壓下,SiC和GaN可以減少大約十倍的操作距離,距離為電阻成正比,即導(dǎo)通電阻很低。因此相對硅基半導(dǎo)體SiC和GaN可以大幅度提高電力系統(tǒng)效率。

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  來源:YOLE

  SiC功率系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈,最上游的基板到器件設(shè)計(jì),然后是外延片,再后是芯片處理也就是晶圓代工,然后是封測,最后是系統(tǒng)。

  此外,要說一下GaN,GaN沒有安身立命的場所,它必須依附在某種基板上,通常有三種基板:一是藍(lán)寶石,藍(lán)寶石基板加GaN就是藍(lán)光或白光LED,這在20年前已經(jīng)由日本廠家發(fā)明;二是SiC基板,就是5G基站的射頻放大器,此外大功率軍用雷達(dá)也是典型應(yīng)用;三是硅基板,就是普通的功率元件,特別適合用在手機(jī)快充領(lǐng)域的功率元件。

  與硅基半導(dǎo)體不同,SiC產(chǎn)業(yè)鏈多了外延片Epitaxy這個(gè)環(huán)節(jié),臺灣稱之為磊晶,也有稱之為長晶。Epitaxy來自希臘文,epi代表在上方,而taxy指規(guī)則排列。之所以有這個(gè)工序是為了制造一層單晶機(jī)構(gòu),發(fā)揮復(fù)合半導(dǎo)體最大效能,它厚度很薄,大約是一個(gè)分子或原子的高度,通常有三種工藝,液相磊晶、氣相磊晶(再分為化學(xué)氣相和物理氣相)和分子束磊晶。

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  來源:英飛凌

  SiC MOSFET的成本結(jié)構(gòu),超過一半來自基板,磊晶占的比例很低。

  基板是SiC元件最關(guān)鍵的原材料,也是最具技術(shù)含量和含金量的領(lǐng)域,SiC元件成本中,基板至少占一半,車載領(lǐng)域?qū)ι嵋蟾撸虼怂汲杀靖撸_(dá)65%。就6英寸晶圓來說SiC基板價(jià)格為900-1200美元,是硅的50倍。

  實(shí)際SiC比硅出現(xiàn)的更早,早在1890年就已經(jīng)出現(xiàn),但一直難于突破量產(chǎn)瓶頸。SiC單晶生長溫度高達(dá)2600℃,比硅基高1000°,且碳化硅只有“固-氣”二相,相比于第一代、第二代半導(dǎo)體的“固-液-氣”三相,控制起來要困難得多,沒有相關(guān)技術(shù)進(jìn)行參考借鑒。加上SiC的單晶結(jié)構(gòu)差不多有200余種同分異構(gòu)體,很多的晶型間的自由能差異非常小,需要幾十年的時(shí)間來摸索最合適的工藝,這些都給其單晶的產(chǎn)業(yè)化生長制備帶來了很大的挑戰(zhàn)。

  冷戰(zhàn)時(shí)代,SiC材料是洲際導(dǎo)彈彈頭涂敷材料,美蘇都大力發(fā)展SiC材料制造工藝,最終用在電動車上。俄羅斯圣彼得堡工業(yè)大學(xué)是全球SiC單晶成長技術(shù)的發(fā)源地,其后輾轉(zhuǎn)進(jìn)入了瑞典AMDS。

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  基板領(lǐng)域,Cree是絕對霸主,市場占有率超過60%,車載領(lǐng)域超過80%。Cree在SiC基板領(lǐng)域研發(fā)超過35年,主要技術(shù)來源實(shí)際是北卡萊羅納大學(xué)即NCSU,1987年NCSU的研究生約翰·帕爾默(John Palmour)發(fā)明專利,即SiC基MOSFET晶體管的發(fā)明,同年,約翰·帕爾默在NCSU的三角研究園創(chuàng)立Cree。但SiC基板一直無法突破,直到2006年Cree收購INTRINSIC Semiconductor,而這家公司則收購了瑞典AMDS和Bandgap Technologies 公司。最終歷經(jīng)30年研究,在2011年發(fā)布全球首個(gè)SiC MOSFET功率器件,然后依靠SiC基板技術(shù),大力發(fā)展LED。

  2015年9月,Cree公司將旗下功率和射頻部門(Power & RF)分拆為獨(dú)立的“Wolfspeed”公司。英飛凌試圖收購該公司,被美國政府以牽涉國家安全為理由拒絕。

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  2019年,Cree成為大眾汽車集團(tuán)FAST(Future Automotive Supply Tracks,未來汽車供應(yīng)鏈)項(xiàng)目SiC獨(dú)家合作伙伴。

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  Cree的產(chǎn)能已被下游大客戶買斷,主要客戶包括ST、英飛凌、安森美。需要指出,ST不僅簽署了超5億美元的SiC基板購買合同,同時(shí)也以1.375億美元現(xiàn)金收購了瑞典SiC晶圓制造商N(yùn)orstel AB。

  II-VI主要致力于SiC-GaN,即射頻領(lǐng)域。SiCrystal是日本SiC第一大廠羅姆的子公司,SiCrystal于2009年被羅姆低價(jià)收購。早在1999年,羅姆就開始聚焦SiC,最初的SiC MOSFET開發(fā)始于2002年,初始樣品于2005年出貨。隨后2007年試制了300A MOSFET,并于2008年發(fā)布了溝槽式器件。

  2009年Rohm收購了SiC晶圓供應(yīng)商SiCrystal,隨后在2010年推出首批批量生產(chǎn)的SiC肖特基二極管和MOSFET,2012年批量生產(chǎn)全SiC模塊,2017年交付了6英寸SBD。SiCrystal是羅姆成為ST意法半導(dǎo)體之外最大的SiC元件大廠的主要原因,2020年初SiCrystal與ST簽署了1.2億美元的供貨大單。SiCrystal也是中國SiC設(shè)計(jì)公司最多采購的供應(yīng)商。

  中國碳化硅材料供應(yīng)商有山東天岳。2019年中期,華為旗下的哈勃科技投資了以碳化硅為主要業(yè)務(wù)的山東天岳公司,并占股10%。早在2008年6月4日,山東天岳公司團(tuán)隊(duì)就提供了一項(xiàng)名為“用于半導(dǎo)體單晶生長的高純碳化硅粉的人工合成方法”的發(fā)明專利(申請?zhí)枺?00810016665.6)。

  SiC磊晶領(lǐng)域所占價(jià)值很低,主要廠家是臺灣的嘉晶電子和昭和電工。國際大廠IQE、IET,臺灣聯(lián)亞、全新光電也有能力,但目前他們主要還是集中在市場更大的手機(jī)PA和VCSEL領(lǐng)域。

  晶圓代工領(lǐng)域,SiC功率器件廠家基本上都自己擁有晶圓廠,不會委外代工。實(shí)際不止SiC功率器件領(lǐng)域內(nèi)如此,所有硅基功率器件領(lǐng)域內(nèi)也是如此。主要是考慮到成本控制問題,自有晶圓廠產(chǎn)品才能有競爭力。當(dāng)然,中國大陸廠家是能外包的都外包,降低固定資產(chǎn)投入。

  目前SiC功率器件晶圓代工領(lǐng)域恐只有臺灣漢磊一家,漢磊是累積了8年經(jīng)驗(yàn)才開始從事SiC功率器件晶圓代工。環(huán)宇、嘉晶也有能力,但對此都缺乏興趣。漢磊幾乎是唯一選擇。漢磊的主力也不在此,畢竟市場太小了,基于SiC的GaN晶圓代工才是焦點(diǎn),因?yàn)殡y度極高,一般廠家做不來,只有多年從事復(fù)合半導(dǎo)體晶圓代工的廠家才行。臺灣有全球前三大復(fù)合半導(dǎo)體晶圓代工廠,穩(wěn)懋、宏捷科、全新光電合計(jì)市場占有率超90%,比硅晶圓代工市場集中度更高。

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  下游SiC元件領(lǐng)域,ST占據(jù)絕對霸主地位,市場占有率超過50%,目前ST接獲的68個(gè)項(xiàng)目中工業(yè)和汽車領(lǐng)域各占一半。特斯拉是ST獨(dú)家供應(yīng),比亞迪也在使用ST的SiC MOSFET。除ST外,英飛凌和羅姆占了大約40%的市場。安森美在SiC二極管領(lǐng)域也有一席之地。

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  來源:YOLE

  現(xiàn)代和雷諾可能會是羅姆的大客戶,羅姆通過大陸汽車動力總成事業(yè)群分拆的Vitesco供應(yīng)給現(xiàn)代和雷諾,此外PSA-FCA電驅(qū)動軸也是Vitesco主要客戶。豐田則由電裝供應(yīng)。大眾、奧迪和奔馳未來可能由英飛凌供應(yīng)。這中間都需要通過電驅(qū)動軸廠家配合。中國宇通則是采用常州斯達(dá)半導(dǎo)體的SiC MOSFET 1200V,由Cree提供成品晶圓,斯達(dá)半導(dǎo)體只做封裝測試。

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  中國SiC產(chǎn)業(yè)鏈

 

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