繼去年8月,臺積電三大生產基地因病毒入侵而導致停擺事故之后,1月28日下午臺積電南科Fab14廠又被爆出一起安全事故,導致晶圓被不合格化學原料污染,預估損失上萬片晶圓。隨后,臺積電發言人孫又文證實了這一消息。
當晚22點,臺積電又發布信息指出,發現一批化學原料有些規格誤差的問題,會對良品率產生影響,主因仍在調查,正在與客戶溝通細節及處理措施。經過初步估計,此次問題不影響第1季財測。
1月30日,臺積電針對媒體近日對臺積電Fab14晶圓受到污染一事之揣測報導,正式發布聲明稱,事故原因是出在了光刻膠上,而損失的晶圓大部分將在今年一季度補回。
正式聲明如下:
在2019年1月19日我們發現F14B的12/16納米的良率出現問題,經追查后了解問題出在一批光刻膠上。此批光刻膠是來自一個與臺積電有多年供貨經驗優良的廠商,但這批光刻膠與過去其供應的光刻膠規格有相當的誤差。我們立即停用此批不符規格的光刻膠并馬上通知所有受到影響的客戶。
在過去十天中我們已與所有受影響的客戶密切溝通包含相關補貨和交期的細節,以我們目前在12/16納米的產能利用率觀察,臺積電預計受影響的晶圓大部分能在2019年第一季補回,若有2019年第一季無法補回的也應能在2019年第二季補回,臺積電重申此單一事件當不至于影響2019年第一季財測。
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