《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 模擬設計 > 業界動態 > 快閃存儲器的路線之爭

快閃存儲器的路線之爭

2018-06-14
關鍵詞: 英特爾 美光 閃存

1.jpg

英特爾美光閃存研發策略聯盟的分道揚鑣,為閃存技術的路線之爭揭開序幕

  最近的新聞報導指出,英特爾(Intel)與美光(Micron)閃存研發策略聯盟的分手,肇因于對未來3D NAND Flash發展的看法差異,想來合理,且早有征兆。

  NAND Flash的結構只比一般CMOS要復雜一點。CMOS結構最上層是金屬閘極,最底下是源極和漏極,閘極和源極與漏極之間以氧化層相隔。NAND Flash就只在氧化層中再加入一層結構以儲存電荷,以此層中電荷的有無影響CMOS電壓閾值以代表儲存的「0」或「1」訊號。

  儲存電荷的這一層材料有講究,因而NAND Flash的制程分為兩派。浮動閘極(floating gate)一派用多晶硅(polycrystalline),常用來做閘極的導電物質;電荷捕捉(charge trap)一派則用氮化硅(silicon nitride)此種絕緣體。差異在電荷能否在此層中流動與否,因此兩種NAND Flash的制程和特性相差極大。

  理論上電荷捕捉因為絕緣體的材質會有幾個好處:制程簡單、晶粒尺寸小、可靠性高、良率也高(因為它對此層與底層源、漏極之間氧化層缺陷的耐受度較高),又因為電荷于其上不會自由流動,一個電荷捕捉節點上就可以儲存2個甚至3個位元。盡管理論上有這么多好處,但NAND Flash在平面制程時代的主流制程還是浮動閘極。用電子捕捉制成的產品不僅良率未能令人滿意,資料寫入速度更需要耐心,即使做成最低階的micro SD卡也嫌慢,在山寨手機年代有個渾稱叫「慢慢卡」。

  但是到了3D NAND Flash時代事情有了中轉,制程主流變成電荷捕捉,浮動閘極技術只有美光和英特爾聯盟使用。一般文獻上只說電荷捕捉適于垂直元件,詳細的原因是3D制程在高度方向的側面沒法子做光刻,只能依物質的特性做選擇性蝕刻。所以在3D制程中垂直方向的各層元件能共享的物質越多越好,制程越簡單。電荷捕捉由于使用絕緣體氮化硅當電荷儲存器,而電荷并不會在上下層不同元件之間流竄,所以整條上下堆疊的NAND Flash可以共享相同的一層氮化硅,而不必在每層之間(就是每個NAND Flash cell)截斷,這在制程簡化和良率提升上自然是利多。于是美光在未來技術路線圖上開始轉向電荷捕捉技術,至于英特爾則仍維持原來的浮動閘極路線,成為分手的主因。

  用這個觀點來檢視美光前一陣子發布的64層NAND Flash產品就豁然開朗。它有兩點令人驚艷,一是它的顆粒面積較小,因為它把原先安置在周邊的邏輯線路全藏到存儲器下方。另一個是層間距大幅縮小,相信這是美光充分利用了電荷捕捉制程的理論好處-晶粒尺寸小,而晶粒尺寸小在3D制程對應的就是層間距,因為晶粒是直擺著。層間距是未來3D制程競爭的一個重要參數,層間距小,存儲器的高底比(aspect ratio)就小,深溝(trench)或孔洞(hole)的蝕刻和濺渡做的都比較輕松。

  技術陣營的消長往往也牽動商業競爭。當年DRAM制程有深溝(deep trench)電容與堆疊(stack)電容兩大陣營,堆疊電容的產能較多,深溝電容制程所需的制程設備就無法得到設備廠商的充分支持,現在生存的都是采用堆疊電容制程的廠商。讓我們看歷史會不會重演。



本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
主站蜘蛛池模板: 免费无码又爽又刺激高潮的视频 | 亚洲av无码不卡一区二区三区| 亚洲中文字幕在线无码一区二区| 台湾swag在线观看| 公在厨房对我猛烈进出视频| 人人公开免费超级碰碰碰视频 | 男女免费观看在线爽爽爽视频| 沦为色老头狂欲的雅婷| 免费在线观看视频网站| gogogo高清在线播放| japonensisjava野外vt| 16女下面流水不遮视频| 顶级欧美色妇xxxxx| 精品伊人久久久大香线蕉欧美| 欧美精品黑人粗大视频| 日韩乱码在线观看| 婷婷人人爽人人做人人添| 国产精品美女www爽爽爽视频| 国产大片b站免费观看直播| 又大又爽又湿又紧a视频| 亚洲欧美成人一区二区在线电影 | 亚洲国产av无码专区亚洲av| 久久久精品一区二区三区| 99视频在线看观免费| 黄瓜视频有直播的不| 男人j桶进女人p无遮挡免费观看| 欧美亚洲国产精品久久久久| 成人AAA片一区国产精品| 国产精品亚洲视频| 六月婷婷网视频在线观看| 亚洲国产av高清无码| 一本大道无码人妻精品专区| 一区二区三区在线|欧| jizz免费观看| 国产youjizz| 香蕉视频黄在线观看| 狠狠操精品视频| 日本一区二区三区四区视频| 国产精品美女自在线观看免费| 国产免费小视频在线观看| 噗呲噗呲捣出白沫蜜汁|