高能束加工中的三束，指的是激光束、電子束和離子束，和目前被廣泛應(yīng)用的激光束相比，離子束則是少有人知。
埃德萬(wàn)斯總經(jīng)理高云龍
埃德萬(wàn)斯總經(jīng)理高云龍告訴《電子技術(shù)應(yīng)用》記者：“我們的離子束加工技術(shù)采用的是氬，這種惰性氣體幾乎不和任何材料發(fā)生反應(yīng)。利用這種惰性氣體離化加速之后的高能氬離子進(jìn)行材料表面加工、蝕刻、鍍膜，是一種原子級(jí)的加工，要遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出現(xiàn)在常用的激光加工。”
高云龍表示，離子束加工具有非常多的優(yōu)點(diǎn)。它是目前特種微納加工中最精密、最微細(xì)的加工手段。離子刻蝕線條精度可達(dá)納米精度；離子鍍膜則具有致密度高、粘附力好等優(yōu)點(diǎn)；而離子束拋光被譽(yù)為終極拋光，拋光精度可達(dá)亞納米級(jí)。此外，離子束加工在高真空中進(jìn)行，污染少，特別適宜于對(duì)易氧化的金屬、合金和半導(dǎo)體材料進(jìn)行加工。離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來(lái)實(shí)現(xiàn)的，是一種微觀作用，所以加工無(wú)應(yīng)力和無(wú)變形，適宜于對(duì)各種材料和低剛件零件進(jìn)行加工。
那么離子束加工具有這么多優(yōu)點(diǎn)為什么卻少有人知呢？
“主要是中國(guó)離子束加工技術(shù)發(fā)展初期主要是用于航天、軍工等高精尖項(xiàng)目。我們埃德萬(wàn)斯的前身就是一個(gè)航天系統(tǒng)的研究所，30多年前我們的創(chuàng)始人就開(kāi)始進(jìn)行技術(shù)開(kāi)發(fā)、應(yīng)用，過(guò)去大家都是比較重視科研，項(xiàng)目也集中于國(guó)家的項(xiàng)目，不太注意離子束加工的商業(yè)化。可以說(shuō)，過(guò)去我們實(shí)在是太低調(diào)了。” 高云龍表示。
記者了解到，正是由于離子束加工具有很多優(yōu)點(diǎn)，所以它的應(yīng)用范圍也非常廣泛。比如針對(duì)電子行業(yè)來(lái)說(shuō)，隨著應(yīng)用場(chǎng)景的復(fù)雜化、終端產(chǎn)品的多樣化，硅MEMS傳感器應(yīng)用范圍越來(lái)越受局限，眾多國(guó)際知名廠商開(kāi)始注重新材料、新工藝、新技術(shù)的開(kāi)發(fā)，國(guó)內(nèi)外MEMS呈現(xiàn)從“硅”到“非硅”的發(fā)展趨勢(shì)。埃德萬(wàn)斯自主研發(fā)的離子束技術(shù)應(yīng)用設(shè)備以及多年積累的成熟工藝技術(shù)對(duì)于非硅MEMS加工制造有著獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。
高云龍介紹說(shuō)，埃德萬(wàn)斯致力于自主設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)，不斷優(yōu)化設(shè)備性能，在核心產(chǎn)品——離子束刻蝕系統(tǒng)和離子束濺射薄膜沉積系統(tǒng)——擁有完全知識(shí)產(chǎn)權(quán)。目前已經(jīng)和一些電子企業(yè)進(jìn)行合作，比如高精度薄膜電容、MEMS產(chǎn)品等。
現(xiàn)代社會(huì)，酒香也怕巷子深。為了能夠讓更多的了解離子束加工技術(shù)，埃德萬(wàn)斯現(xiàn)在開(kāi)始有意識(shí)通過(guò)參加專業(yè)的展會(huì)來(lái)介紹這種“老”技術(shù)的新應(yīng)用。
高云龍表示：“中國(guó)電子展是中國(guó)最大的專業(yè)電子展會(huì)之一，這個(gè)平臺(tái)非常好，可以讓埃德萬(wàn)斯更多地直接接觸最終客戶，讓更多地的企業(yè)了解離子束加工。我們希望通過(guò)這個(gè)平臺(tái)找到更多的合作伙伴。”
為了推進(jìn)離子束加工的進(jìn)一步發(fā)展，埃德萬(wàn)斯正在北京中關(guān)村環(huán)保科技園建設(shè)非硅微納制造工藝技術(shù)中心。工藝技術(shù)中心瞄準(zhǔn)MEMS、集成電路分立器件、第三代半導(dǎo)體以及新材料開(kāi)發(fā)領(lǐng)域，可對(duì)客戶提供各種基于新材料、新結(jié)構(gòu)、新工藝的工藝開(kāi)發(fā)與技術(shù)轉(zhuǎn)讓，芯片的生產(chǎn)、代工，以及人員培訓(xùn)、技術(shù)咨詢等各方面的綜合服務(wù)。
此外，埃德萬(wàn)斯還期望通過(guò)投融資服務(wù)讓更多企業(yè)接入到離子束加工領(lǐng)域。高云龍表示：“我們對(duì)待合作伙伴非常開(kāi)放，我們希望通過(guò)建立一個(gè)公共平臺(tái)投資一些對(duì)于離子束加工感興趣的企業(yè)，讓更多地的企業(yè)加入到這個(gè)行業(yè)之中，未來(lái)也有可能培育出一些上市企業(yè)，把整個(gè)市場(chǎng)做大。”
過(guò)去中國(guó)科研院所很多時(shí)候有好的技術(shù)，卻沒(méi)有好的商業(yè)化途徑，讓很多技術(shù)蒙塵。埃德萬(wàn)斯通過(guò)改制變?yōu)槊駹I(yíng)企業(yè)之后，更具有活力，期望通過(guò)新的商業(yè)模式帶動(dòng)離子束加工產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)整體性突破。