全球領先的半導體制造晶圓處理、清洗和表面處理設備供應商FSI國際有限公司（納斯達克：FSII），日前宣布收到來自重要半導體制造商的后續訂單，購買其新推出的ORION 單晶圓清洗技術平臺。該項后續訂單將為2008年12月23日發布的訂單的機臺提供擴充的晶圓清洗量能和性能。這一追加定購乃緣于已安裝的ORION機臺杰出表現所帶來的鼓舞。ORION系統將被應用于后段(BEOL)銅/低K導線制作。?

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“這項訂單對我們尤其重要，因為它證明了FSI的ORION技術在制造中的應用。”FSI總裁兼首席執行官Don Mitchell說道。“對于我們所推出的用于BEOL 32nm工藝的單晶圓新技術，該客戶已經初步進行評估。他們在 ORION系統性能充分的杰出表現激勵下，決定擴大應用至當前大量生產線上。該項訂單使我們更加相信，即使在當前行業不景氣的情況下，我們的客戶依舊樂于為新技術投資，因為這些技術提供了優越的性能和顯著的經濟效益。”?

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ORION系統特有的閉室設計，同時解決了前段(FEOL)和后段（BEOL）先進制造工藝中關鍵步驟上的清洗問題。關于FSI ORION系統的更多信息，請登陸FSI網站鏈接：http://www.fsi-intl.com/index.php/index.php/applications-and-products/orion-single-wafer-cleaning-cluster.?

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關于FSI：?

FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設備技術及支持服務的全球性的供應商。通過使用公司產品組合中的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉噴霧式、汽相和超凝態過冷動力學等一整套清洗技術產品，客戶能夠實現他們的工藝性能、靈活性和生產能力目標。公司推出的支持服務項目包括了產品及工藝的提升，從而延長已安裝的FSI設備的使用壽命，使世界范圍內的客戶的資本投資獲得更高的回報。?

FSI國際有限公司全球網站：http://www.fsi-intl.com.?