《電子技術(shù)應(yīng)用》
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MEMS是否會走CMOS的演進路線

2011-04-26
關(guān)鍵詞: MEMS CMOS 消費電子

MEMS" title="MEMS">MEMS市場2010年強勁增長,營業(yè)收入同比增長18.3%。但據(jù)IHS iSuppli公司的最新研究,這只是MEMS和傳感器市場新一輪兩位數(shù)增長周期的開始,其增長趨勢將持續(xù)到2014年。2011年,MEMS產(chǎn)業(yè)的主要增長動力將是消費電子" title="消費電子">消費電子和手機市場,這些市場將同比增長25%。在消費電子和手機市場,2011年MEMS營業(yè)收入將從2010年的16億美元增長到21億美元。IHS iSuppli公司預(yù)測,到2014年,消費電子和手機領(lǐng)域的MEMS營業(yè)收入將達到37億美元。如此巨大的市場需求自然也引起了整個產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)注。

自從臺積電開創(chuàng)晶圓代工模式以來,IC設(shè)計與制造的分離傾向越來越明顯,現(xiàn)在這個趨勢已經(jīng)蔓延到了原來的IDM廠商。過去的五到八年當(dāng)中,已經(jīng)有越來越多的IDM開始來進行外包生產(chǎn),交給晶圓代工廠來進行晶圓的制造,即便是像TI這樣的IDM大廠,也已經(jīng)開始將有關(guān)的生產(chǎn)外包給晶圓代工廠。Global Foundries的200毫米業(yè)務(wù)高級副總裁Raj Kumar認為:尤其是成熟的200毫米或者是200毫米以下的成熟制程,今后將會有越來越多的IDM公司轉(zhuǎn)向輕晶圓或者是無晶圓模式。Global Foundries公司有一些客戶,以前他們自己旗下還有一到兩個晶圓廠,但是逐漸開始交給其他的公司來代工。

其實MEMS這樣一個發(fā)展潮流跟CMOS" title="CMOS">CMOS是相似的,只不過MEMS比CMOS的演進要慢了25年,現(xiàn)在歐美的IDM廠商一旦看到MEMS的產(chǎn)能不能達到市場需要的時候,就會放手進行外包生產(chǎn),只不過早期的時候是抓在手里自己來生產(chǎn),然后外包生產(chǎn)比例不斷擴大,這樣一個演進趨勢還是很明顯的。

由于MEMS的生產(chǎn)工藝和標(biāo)準(zhǔn)的CMOS還是有所差異的,所以業(yè)界還是有疑問:普通200毫米生產(chǎn)線上是不是可以去做MEMS這些非標(biāo)準(zhǔn)工藝的產(chǎn)品,大規(guī)模代工模式能否延伸到MEMS產(chǎn)品上?RajKumar的答案是:肯定可行,而且已經(jīng)在實踐當(dāng)中實現(xiàn)了,即便是IDM廠商也是同時在做CMOS和MEMS。分析一下制造方面的差異性,在生產(chǎn)MEMS的時候,設(shè)備的80%其實都是一些CMOS的通用設(shè)備,包括光刻機和爐子,這些設(shè)備都是通用的設(shè)備。其他有20%的是MEMS特有的設(shè)備,包括晶圓的粘接設(shè)備和清洗工具的相關(guān)設(shè)備。由于80%是屬于通用的設(shè)備,因此業(yè)務(wù)的相關(guān)性非常大,生產(chǎn)線經(jīng)過稍微的改動就可以大批量生產(chǎn)。

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