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橫河PLCFA-M3在擴散爐上的應用
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摘要: 橫河PLCFA-M3在擴散爐上的應用。擴散爐工作區間內(800到1000mm)一般需要±01℃(個別要求±0.5℃)。多數情況下只使用外溫控制,內溫只在數據測試(Profiling)和2-3周一次的矯正時使用。不同晶片及數量的要求內溫相對外溫設定值由profiling給出。使用內溫時,使用串級控制,內溫輸出作為外溫設定值使用。為防止電流過大,會加一些電流限定或限制值斜坡。
Abstract:
Key words :

橫河PLC FA-M3在擴散爐上的應用。擴散爐工作區間內(800到1000mm)一般需要±01℃(個別要求±0.5℃)。多數情況下只使用外溫控制,內溫只在數據測試(Profiling)和2-3周一次的矯正時使用。不同晶片及數量的要求內溫相對外溫設定值由profiling給出。使用內溫時,使用串級控制,內溫輸出作為外溫設定值使用。為防止電流過大,會加一些電流限定或限制值斜坡。外溫取2熱電偶之高值。一般800到1200度內擴散,一次約 12-14小時。  

  擴散爐工作區間內(800到1000mm)一般需要±01℃(個別要求±0.5℃)。多數情況下只使用外溫控制,內溫只在數據測試(Profiling)和2-3周一次的矯正時使用。不同晶片及數量的要求內溫相對外溫設定值由profiling給出。使用內溫時,使用串級控制,內溫輸出作為外溫設定值使用。為防止電流過大,會加一些電流限定或限制值斜坡。外溫取2熱電偶之高值。一般800到1200度內擴散,一次約12-14小時。

  控制難點:

  1:溫度精度的保持。+0.1度需要相當的控制工藝(PID參數)積累。

  2:程序的自由度。多組目標值數據要存儲并自由切換。避免干涉。

  3:電熱絲斷線預警;通常使用CT監測電流,配以電壓監視。也有使用監視同等條件下的輸出變化(比如從60%升高到70%)來判斷老化程度給出預警。

  FA-M3適用模塊:

各電熱絲溫度控制-----F3CU04-1S:

  ☆提供200ms周期,0.1度的高精度控制,溫度控制曲線條數不受限制。

  ☆單系統最多144loop溫控控制,節省了大量的安裝空間,控制更靈活,方便聯網擴展。

  ☆各點獨立,不必加裝隔離柵,減少電熱絲間干擾。

  ☆由于是模塊式,不再需要PLC與溫度調節器間繁瑣的通信編程和布線。

  ☆使用專用軟件設定PID/測試/監視。不必使用記錄儀輔助。多路圖彩監視為調試提供了方便。

  其他-----斷線檢測和e-RT3智能CPU

  ☆檢測加熱器電流的下限,斷線報警。

  ☆補償電源電壓變動,以防止誤報警。

  ☆e-RT實時系統CPU完成主控部和溫度控制部處理,代替傳統PC,系統更穩定。

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